[发明专利]一种钽酸锂晶片黑化装置及其使用方法

权利要求书

1.一种钽酸锂晶片黑化装置，包括盛装管(1)，以及放置在盛装管(1)内部的晶片放置装置(2)，其特征在于：所述晶片放置装置(2)包括底板(21)、盖板(23)以及设置在两者之间的多个治具(22)，所述晶片放置装置(2)通过底板(21)水平放置在盛装管(1)内部，所述治具(22)为环状结构并且在其环状结构的两个端面均开设有通槽(2201)，多个治具(22)重叠水平放置在底板(21)上，且相邻治具(22)间的通槽(2201)交错排列，所述盖板(23)靠近治具(22)的一侧还设置有重块(24)，所述重块(24)与治具(22)内环匹配能够嵌入治具(22)内环。

2.根据权利要求1所述的一种钽酸锂晶片黑化装置，其特征在于：所述治具(22)的上下两个端面均设置有至少2个通槽(2201)，且治具(22)上端面的通槽(2201)和下端面的通槽(2201)一一对应。

3.根据权利要求1所述的一种钽酸锂晶片黑化装置，其特征在于：所述治具(22)的两端面均为平面结构。

4.根据权利要求1所述的一种钽酸锂晶片黑化装置，其特征在于：所述底板(21)为矩形平面板。

5.根据权利要求1所述的一种钽酸锂晶片黑化装置，其特征在于：所述治具(22)采用不锈钢材料制作。

6.根据权利要求1所述的一种钽酸锂晶片黑化装置，其特征在于：所述盛装管(1)两端的端面还设置有与管口匹配的隔热垫(3)。

7.根据权利要求6所述的一种钽酸锂晶片黑化装置，其特征在于：所述盛装管(1)的内壁还设置有鳍片(11)。

8.根据权利要求7所述的一种钽酸锂晶片黑化装置，其特征在于：所述鳍片(11)为螺旋状，且延伸至盛装管(1)的两端。

9.一种钽酸锂晶片黑化装置的使用方法，包括权利要求1-8任意一项所述的钽酸锂晶片黑化装置，其特征在于，还包括以下使用步骤：

S1，在底板(21)上放置一个治具(22)，在治具(22)内加入固定质量比的还原剂粉末刮平后压实；

S2，将钽酸锂晶片放在治具(22)内压实后的还原剂粉末上；

S3，再加入固定质量比的还原剂粉末覆盖钽酸锂晶片后，刮平后压实；

S4，重复步骤S1-S3，在治具(22)上叠放多个治具(22)和钽酸锂晶片；

S5，在最上端的治具(22)内环嵌入有重块(24)，并在重块(24)上盖有盖板(23)，加固压实还原剂粉末；

S6，将整个晶片放置装置(2)放置到盛装管(1)中，充入2-4L/min氮气，在480-550℃的恒温中进行热处理3-10h，待温度自然降到室温，取出钽酸锂晶片即可。

10.根据权利要求9所述的一种钽酸锂晶片黑化装置的使用方法，其特征在于：所述步骤S2中，钽酸锂晶片放置于治具(22)中央。