[发明专利]掩模支撑模板和其制造方法及掩模与框架连接体的制造方法

说明书

本发明涉及掩模支撑模板和其制造方法及框架一体型掩模的制造方法。本发明涉及的掩模支撑模板的制造方法，该掩模支撑模板(50)用于支撑OLED像素形成用掩模(100)并将该掩模(100)对应至框架(200)上，该方法的特征在于包括：(a)在一面形成有临时粘合部(55)的模板(50)上粘合掩模金属膜(110)的步骤；(b)缩减在模板(50)上粘合的掩模金属膜(110)的掩模单元部(CG)的厚度的步骤；以及(c)通过在掩模单元部(CG)上形成掩模图案(P)来制造掩模(100)的步骤。

技术领域

本发明涉及掩模支撑模板和其制造方法及掩模与框架连接体的制造方法。更具体地，涉及使掩模不发生变形且能够稳定地得到支撑并移动，且将掩模与框架一体形成时可提高掩模与框架的粘贴力，且能够在各掩模间准确地进行对准(align)，且将掩模焊接在框架时能够稳定地附着的掩模支撑模板和其制造方法及掩模与框架连接体的制造方法。

背景技术

作为OLED(有机发光二极管)制造工艺中形成像素的技术，主要使用FMM(FineMetal Mask，精细金属掩模)方法，该方法将薄膜形式的金属掩模(Shadow Mask，阴影掩模)紧贴于基板并且在所需位置上沉积有机物。

在现有的OLED制造工艺中，将掩模制造成条状、板状等后，将掩模焊接固定到OLED像素沉积框架并使用。一个掩模上可以具备与一个显示器对应的多个单元。另外，为了制造大面积OLED，可将多个掩模固定于OLED 像素沉积框架，在固定于框架的过程中，拉伸各个掩模，以使其变得平坦。调节拉伸力以使掩模的整体部分变得平坦是非常困难的作业。特别是，为了使各个单元全部变得平坦，同时对准尺寸仅为数μm至数十μm的掩模图案，需要微调施加到掩模各侧的拉伸力并且实时确认对准状态的高度作业要求。

尽管如此，在将多个掩模固定于一个框架过程中，仍然存在掩模之间以及掩模单元之间对准不好的问题。另外，在将掩模焊接固定于框架的过程中，掩模膜的厚度过薄且面积大，因此存在掩模因荷重而下垂或者扭曲的问题；由于焊接过程中在焊接部分产生的皱纹、毛刺(burr)等，导致掩模单元的对准不准的问题等。

在超高清的OLED中，现有的QHD画质为500-600PPI(pixel per inch，每英寸像素)，像素的尺寸达到约30-50μm，而4K UHD、8K UHD高清具有比之更高的～860PPI，～1600PPI等的分辨率。如此，考虑到超高清的OLED的像素尺寸，需要将各单元之间的对准误差缩减为数μm左右，超出这一误差将导致产品的不良，所以收率可能极低。因此，需要开发能够防止掩模的下垂或者扭曲等变形并且使对准精确的技术，以及将掩模固定于框架的技术等。

发明内容

技术问题

因此，本发明是为了解决如上所述的现有技术的各种问题而提出的，其目的在于，提供一种可使掩模不发生变形且稳定地得到支撑并移动的掩模支撑模板及其制造方法。

另外，本发明目的在于，提供一种制造掩模时通过改善掩模金属膜与绝缘部的粘合力来能够更加准确地形成掩模图案的掩模支撑模板及其制造方法。

另外，本发明目的在于，提供一种将掩模附着在框架时能够提高掩模与框架的粘贴力的掩模支撑模板及其制造方法。

另外，本发明目的在于，提供一种将掩模焊接在框架时因焊珠充分地生成从而可稳定地附着的掩模支撑模板及其制造方法及掩模与框架连接体的制造方法。

另外，本发明目的在于，提供一种将掩模附着到框架上之后可反复使用的掩模支撑模板及其制造方法。

另外，本发明目的在于，提供一种掩模与框架连接体的制造方法，其能够形成掩模与框架的一体式结构。

另外，本发明目的在于，提供一种掩模与框架连接体的制造方法，其能够防止掩模下垂或者扭曲等变形并且使对准精确。