[发明专利]一种用于微型元件表面处理的纳米多元共渗设备

权利要求书

1.一种用于微型元件表面处理的纳米多元共渗设备，其特征在于，包括输入电源，操作台，控制机构以及渗锌机构，所述输入电源与控制机构和渗锌机构电连接，所述控制机构包括控制柜以及变速箱，所述渗锌机构包括加热箱以及固定安装在加热箱内部的渗锌罐，所述变速箱和渗锌罐上分别固定设置有第一传动轴与第二传动轴，所述第一传动轴及第二传动轴通过传动轮转动连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于微型元件表面处理的纳米多元共渗设备，其特征在于，所述控制柜表面设有控制面板，内部固定安装有箱门开合检测器。

3.根据权利要求1所述的一种用于微型元件表面处理的纳米多元共渗设备，其特征在于，所述加热箱内部固定设置有加热装置以及温度传感器。

4.根据权利要求1所述的一种用于微型元件表面处理的纳米多元共渗设备，其特征在于，所述操作台的下方装有万向轮，表面设有滑道。

5.根据权利要求4所述的一种用于微型元件表面处理的纳米多元共渗设备，其特征在于，所述加热箱底端设有滑轮并与滑道滑动连接。