[发明专利]多孔质玻璃堆积体制造装置

说明书

本发明是一种多孔质玻璃堆积体制造装置，其制造作为光纤母材的多孔质玻璃堆积体，且具备：反应容器；燃烧器，使玻璃微粒子附着堆积于下垂至反应容器内部的种棒而形成多孔质玻璃堆积体；及隔热部件，填充于供燃烧器插入至反应容器的开口部与燃烧器的间隙。防止多孔质玻璃堆积体制造装置中的燃烧器的损伤。在所述制造装置中，隔热部件可包含纤维状原材料。另外，在所述制造装置中，隔热部件也可包含石英棉材料。进一步地，在所述制造装置中，石英棉材料的铁含量可为1ppm以下。

技术领域

本发明涉及一种多孔质玻璃堆积体制造装置。

背景技术

作为在光纤用母材的制造过程中制造多孔质玻璃堆积体的方法之一，有VAD法(Vapor-phaseAxialDepositionMethod：气相轴向沉积法)，这种方法是使用多个合成用燃烧器，同时形成光纤用多孔质玻璃堆积体中的核心相当部及包层相当部(参照专利文献1)。另外，作为光纤用多孔质玻璃堆积体的制造装置，有如下装置：具有在合成用燃烧器的附近具备环状的玻璃板，且将反应容器内产生的热量阻隔的构造(参照专利文献2)。

专利文献1：日本专利特开2013-234078号公报

专利文献2：日本专利特开2006-096642号公报

在专利文献2所记载的制造装置中，存在隔热板的应力作用于燃烧器而损伤燃烧器的情况。

发明内容

根据本发明的一方案，提供一种多孔质玻璃堆积体制造装置，其制造作为光纤母材的多孔质玻璃堆积体，且具备：反应容器；燃烧器，使玻璃微粒子附着堆积于下垂至反应容器内部的种棒而形成多孔质玻璃堆积体；及隔热部件，填充于供燃烧器插入至反应容器的开口部与燃烧器的间隙。

所述发明的概要并非列举了本发明的所有特征。这些特征群的次组合也可成为发明。

附图说明

图1是表示实施例1的多孔质玻璃堆积体制造装置的概略的示意图。

图2是局部放大表示反应容器1与表面侧包层相当部堆积用燃烧器6之间的密封构造的图。

具体实施方式

以下，通过发明的实施方式对本发明进行说明。下述实施方式并不限定权利要求书的发明。实施方式中所说明的特征的所有组合并非都为发明的解决手段所必须的组合。

图1是示意性表示一实施例的多孔质玻璃堆积体制造装置的构造的图。如图1所示，制造装置具备反应容器1、轴2及多个燃烧器。该多孔质玻璃堆积体制造装置在反应容器1的内部制造多孔质玻璃堆积体9。

轴2以在图中下端固持种棒3的状态，从上方插入至反应容器1。由此，种棒3下垂至反应容器1的内部。在使多孔质玻璃堆积体沉积的情况下，种棒3成为供玻璃微粒子附着的对象。

轴2被设置成，以让种棒3下垂的状态绕铅直的旋转轴旋转，且可与种棒3一起升降。由此，随着多孔质玻璃堆积体9的沉积而提拉种棒3，可制造目标长度的多孔质玻璃堆积体9。

在多孔质玻璃堆积体9中，在触碰到种棒3下方的堆积体的中心，形成有成为光纤核心的核心相当部。另外，在多孔质玻璃堆积体9的外周侧，最终形成有成为光纤包层的包层相当部。因为包层相当部的体积与核心相当部的体积相比显著较大，所以在形成包层相当部时存在使用多个包层相当部合成用燃烧器的情况。在图示的例子中，相对于单一的核心相当部堆积用燃烧器4，设有核心侧包层相当部堆积用燃烧器5及表面侧包层相当部堆积用燃烧器6。

对于核心相当部堆积用燃烧器4、核心侧包层相当部堆积用燃烧器5、及表面侧包层相当部堆积用燃烧器6，分别供给包含作为玻璃原料的四氯化硅、八甲基环四硅氧烷等的原料气体。各燃烧器将原料气体吹入氢氧焰，合成作为多孔质玻璃堆积体9堆积的玻璃微粒子。