[发明专利]用于增材制造的涡电流传感器阵列和涡电流传感器系统

权利要求书

1.一种由多个传感器线圈(2)形成的涡电流传感器阵列(1)，其中，

·各传感器线圈(2、2a-2d)的截面最大为0.15mm²，特别地，最大为0.04mm²，

·所述传感器线圈(2、2a-2d)沿着线(x)排列，其中，每两个连续传感器线圈(2、2a-2d)相对于所述线(x)交替地偏移，使得每两个连续线圈(2、2a-2d)的中心(c)之间的沿所述线(x)的方向的距离(dx)小于所述中心(c)之间的直线距离(s)，并且

·其中，各个线圈(2、2a-2d)具有初始相对磁导率至少为5000的芯，特别是坡莫合金芯和/或非晶态金属芯(3)。

2.根据权利要求1所述的涡电流传感器阵列(1)，其特征在于，所述涡电流传感器阵列(1)包括导电的基座(5)，从而

·所述线圈(2、2a-2d)通过相应芯(3)的一个端部(e2)固定在所述基座(5)上，并且相应芯(3)热连接到所述基座(5)，和/或

·所述基座(5)电接地，并且各个传感器线圈(2、2a-2d)的一侧电连接到所述基座(5)，从而电接地。

3.根据前述权利要求中任一项所述的涡电流传感器阵列(1)，其特征在于，相应芯(3)在传感器线圈的绕组(4)上方突出，突出部分(P)至少等于所述绕组(4)的厚度。

4.根据前述权利要求中任一项所述的涡电流传感器阵列(1)，其特征在于，所述涡电流传感器阵列(1)包括导热且电绝缘的密封剂(6)，该密封剂对相应传感器线圈(2、2a-2d)进行密封和/或对相应传感器线圈的绕组(4)进行密封，特别是其中，所述密封剂(6)

·总质量损失最大为1％，和/或

·具有与所述传感器线圈(2、2a-2d)连接到的传感器阵列印刷电路板的热膨胀系数相等的热膨胀系数，和/或

·在至少高达120摄氏度的温度下是稳定的。

5.包括多个即n个传感器线圈(2)的差分的涡电流线传感器(8)，其特征在于，

·传感器线圈(2、2a-2d)被并行安装和驱动，并且相应传感器线圈(2b)与其一侧的邻近传感器线圈(2a)以及与其另一侧的邻近传感器线圈(2c)形成差分感测探头(SP1、SP2)，所述线传感器(8)从而设置有n-1个差分感测探头(SP1、SP2)，并且

·各个传感器线圈(2、2a-2d)直接电互连到相应发射极增益级(G1-G3)，特别是其中，所述发射极增益级(G1-G3)用作解调器。

6.根据权利要求5所述的涡电流线传感器(8)，其特征在于，所述涡电流线传感器(8)包括：

·n-1个差分放大器(V1、V2)，各个差分放大器用于相应传感器探头(SP1、SP2)，从而相应传感器探头(SP1、SP2)的所述传感器线圈(2、2a-2d)分别通过所述发射极增益级(G1-G3)中的一个与相应放大器(V1、V2)互连，和/或

·具有三阶低通滤波器的双级运算放大器电路，和/或

·根据权利要求1所述的传感器阵列(1)。

7.根据权利要求5或6所述的涡电流线传感器(8)，其特征在于，能够通过可选择的电流方向来选择传感器线圈(2、2a-2d)的磁极性，以使得能够分别利用超过两个的传感器线圈(2、2a-2d)来实现放大的差分传感器探头(SP3)，其中，这些传感器线圈的第一部分(2a、2b)具有相同的磁极性，并且这些传感器线圈的另一部分(2c、2d)具有相反的磁极性。

8.根据权利要求5至7中任一项所述的涡电流线传感器(8)，其特征在于，所述涡电流线传感器(8)

·包括热冷却的印刷电路板，特别是具有金属芯的印刷电路板，从而各个传感器线圈(2、2a-2d)通过导热接头与所述印刷电路板连接，和/或

·通过包括印刷电路板模块(9a-9d)来模块化，和/或

·包括信号处理板，该信号处理板被分割为单独的模拟板和单独的数字板。