[发明专利]压电设备在审

专利信息
申请号: 201911080200.1 申请日: 2019-11-07
公开(公告)号: CN111200413A 公开(公告)日: 2020-05-26
发明(设计)人: 藤井智;山下弘晃;丸尾昌辉 申请(专利权)人: 株式会社大真空
主分类号: H03H9/02 分类号: H03H9/02
代理公司: 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 代理人: 张路;王琦
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 压电 设备
【权利要求书】:

1.一种压电设备,具备:具有上部开口的凹部的绝缘性的基座、收纳在所述凹部中的压电振动片、以及气密地密封收纳有该压电振动片的所述凹部的盖子,其特征在于,

在所述凹部中形成有与所收纳的所述压电振动片的一对连接电极连接的一对搭载用电极,

所述基座具有从所述一对搭载用电极的一个所述搭载用电极引出的布线图案,并且在所述布线图案的下方以与该布线图案在俯视时重叠的方式形成有屏蔽用图案。

2.根据权利要求1所述的压电设备,其特征在于,

在所述基座的外底面设置有表面安装用的多个外部连接端子,

所述屏蔽用图案被电连接到接地用的所述外部连接端子。

3.根据权利要求1或2所述的压电设备,其特征在于,

所述盖子为金属制,所述盖子被电连接到接地用的所述外部连接端子。

4.根据权利要求1或2所述的压电设备,其特征在于,

所述基座在俯视时为矩形,

所述一对搭载用电极靠近所述矩形的一边而形成,

所述布线图案从所述一个所述搭载用电极向与所述一边对置的对置边侧延伸。

5.根据权利要求1或2所述的压电设备,其特征在于,

所述压电振动片具有通过波束的照射来进行频率调整的频率调整用区域,

所述屏蔽用图案以在俯视时不与所述频率调整用区域以及其周边区域重叠的方式形成。

6.根据权利要求1或2所述的压电设备,其特征在于,

所述压电振动片是具备基部以及从该基部的一端侧向同一方向伸长的一对振动臂的音叉型压电振动片,

所述压电振动片的所述一对连接电极被连接到所述一对振动臂的激励电极。

7.根据权利要求1或2所述的压电设备,其特征在于,

所述压电振动片是在两主面形成有一对激励电极的AT切割晶体振动片,

所述压电振动片的所述一对连接电极被连接到所述一对激励电极。

8.根据权利要求1或2所述的压电设备,其特征在于,

所述基座由底板部、在该底板部上以沿着该底板部的周缘的方式层压的第一框部、以及在该第一框部上以沿着该第一框部的周缘的方式层压并且开口从所述第一框部向外扩展的第二框部的至少三层的层压体构成,

所述凹部由所述底板部、所述第一框部以及所述第二框部划分形成,

在所述第一框部的上表面形成有所述一对搭载用电极,并且形成有从一个所述搭载用电极引出的所述布线图案,

在所述底板部形成有所述屏蔽用图案。

9.根据权利要求4所述的压电设备,其特征在于,

所述屏蔽用图案具有:第一图案部,以与从所述一个所述搭载用电极向与所述一边对置的对置边侧延伸的所述布线图案在俯视时重叠的方式向所述对置边侧延伸;第二图案部,以与该第一图案相连并且与所述一对搭载用电极在俯视时中重叠的方式沿着所述一边延伸;以及第三图案部,与该第二图案部相连并且向所述对置边侧延伸。

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