[发明专利]滤光器

说明书

本公开内容的第一方面公开了一种滤光器，其包括：承载件(102)，具有形成于其内的贯通其厚度方向的贯通腔(104)；以及滤光膜(106)，叠置在所述承载件(102)上并且覆盖所述贯通腔(104)的一个开口，在所述滤光膜上以周期性图案排布有通孔，所述滤光膜(106)以金属玻璃制成。

技术领域

本公开内容涉及一种滤光器。

背景技术

金属丝网滤光器是由金属丝网和电介质的叠层来制成的滤光器。作为光路的一部分，它们被用来过滤入射光以允许感兴趣的频率通过，同时反射其他频率的光。

金属丝网滤光器具有许多用于电磁频谱的远红外(FIR)和亚毫米波段的应用。像这样的滤光器已用于FIR和亚毫米级天文仪器超过40年，其中它们有两个主要用途：当作为带通或低通滤光器时，被冷却并将多余的热辐射阻挡在观察频带之外，从而降低低温测辐射热计(探测器)的噪声等效功率；当作为带通滤光器时，可用于定义探测器的观察频带。金属丝网滤光器也可以设计成以45°角使用，从而将输入的光信号分到若干个路径上以便观察，或者用作偏振半波片。

金属丝网滤波器的滤膜常常被构造成多层结构。构建金属丝网滤光器的多层滤膜通常有两种方法。第一种是将分离的层以层间小间隙的方式悬挂在支撑环中，小间隙填充有空气或处在真空下。然而，这样的滤光器是机械脆弱的。为了补偿滤膜的多层结构的不够高的强度，开发了一种金属丝网滤光器，其中将耐用的SiC或SiN薄膜以金涂覆。然而，这样的金属丝网滤光器仍然存在SiC和SiN不易加工的问题。

构建金属丝网滤光器的多层滤膜的另一种方法是将电介质薄膜堆叠在金属丝网层之间，并将整个叠层热压在一起以使之成为一个整体。热压的滤光器是机械坚固的，但是当其阻抗与真空匹配时，由于法布里-珀罗干涉而在下层介电材料中显示出通带条纹(pass-band fringe)。这样的金属丝网滤光器存在以下问题：光学材料消耗较多、冷却耐性变差、滤膜厚度增加。

因此，亟需一种具有高弹性限度并且耐冲击的滤光器。

发明内容

本公开内容的一个目的是提供一种滤光器的新技术方案。

根据本公开内容的第一方面，提供了一种滤光器，其包括：

承载件，具有形成于其内的贯通其厚度方向的贯通腔；以及

滤光膜，叠置在所述承载件上并且覆盖所述贯通腔的一个开口，所述滤光膜以金属玻璃制成并且在所述滤光膜上以周期性图案排布有通孔。

可选地，所述滤光膜是通过极快速冷却，物理气相沉积(PVD)、电镀、脉冲激光沉积(PLD)、固态反应、离子辐射和机械合金化的方式来形成的。

可选地，所述承载件是由聚合物材料、金属、硅或二氧化硅制成的。

可选地，所述滤光膜的厚度为5nm至5μm。

可选地，所述滤光膜的厚度为20nm至1000μm。

可选地，所述通孔的内径均为1nm至100μm。

可选地，所述通孔的内径均为100nm至10μm。

根据本公开内容的一个实施例，通过使用金属玻璃而不是金属丝网作为滤光膜，在不降低滤光器性能的前提下提供了一种能够耐受震动和低温的光学滤光器。该滤光器能够获得与金属丝网滤光器相同的带通函数，保证了滤光性能。

通过以下参照附图对本发明的示例性实施例的详细描述，本发明的其它特征及其优点将会变得清楚。

附图说明

被结合在说明书中并构成说明书的一部分的附图示出了本发明的实施例，并且连同其说明一起用于解释本发明的原理。

图1概略地示出了本发明的滤光器的一个实施方式的结构。