[发明专利]基于质量比影响的气浮隔振平台性能优化设计方法

权利要求书

1.一种基于质量比影响的气浮隔振平台性能优化设计方法，包括：

1)获取相关信息数据，以确定振动设计需求，所述信息数据包括目标设备质量和尺寸大小，目标设备中的运动部件质量和尺寸大小、运动部件最大加速度、容许加速度[A]；

2)根据工程设计经验以及上述设计需求，以质刚重合为设计目标，初步设计气浮隔振平台承载力、数量、T型台尺寸参数，确定初步设计方案；

3)基于初步设计方案，计算目标设备加速度A，并判断目标设备加速度A是否超过容许加速度[A]；当A＞[A]时，返回步骤2)修改初步设计方案；当A≤[A]时，进行步骤4)；其中容许加速度判别包括：在初步设计方案基础上进行参数计算，根据牛顿第二定律F＝ma计算判别目标设备加速度：A＝WG1·Amax/WG2≤[A]，化简为A/Amax≤[A]/Amax，其中，WG1为运动部件质量，Amax为运动部件最大加速度，WG2为目标设备质量；

4)计算运动部件质心高度h1以及目标设备质心高度h2，并判断h1/h2是否大于1/3；当h1/h2＞1/3时，返回步骤2)修改初步设计方案；当h1/h2≤1/3时，进行步骤5)；

5)基于步骤4)之后的设计方案，进行参数化精细建模，包括在初步经验设计方案的通过的情况下，建立参数化模型对气浮隔振平台的性能化设计精确模型计算，然后对模型进行模态计算分析：包括输入工程的实际参数进行模态计算，对整体系统的振动特性进行模拟计算，以及进行模态判别：对于模态计算结果进行必然性判断，使振动模拟结果符合标准要求，对于超标的设计方案，重新建立参数化模型，符合标准的方案进行下一步分析；

6)进行时域分析和频域分析，最终确定优化设计方案。

2.根据权利要求1所述的基于质量比影响的气浮隔振平台性能优化设计方法，当目标设备基本频率f1小于基本频率容许值[f]时，进行时步骤6)，否则返回步骤5)修订参数化精细建模。

3.根据权利要求1所述的基于质量比影响的气浮隔振平台性能优化设计方法，其中所述目标设备为精密仪器设备。