[发明专利]一种提高高压液压泵零件耐磨性的方法

权利要求书

1.一种提高高压液压泵零件耐磨性的方法，其特征在于:液压泵零件基体经过淬火、高温回火、粗精加工后采用离子镀方法进行渗碳处理，然后再通过离子镀和磁控溅射复合方法沉积表面的HfMoZrTiC/Mo多层复合涂层，沉积时采用2个C离子镀靶，1个Hf磁控溅射靶，1个Mo磁控溅射靶，1个Zr磁控溅射靶和1个Ti磁控溅射靶；

液压泵零件基体材料为20Cr、20Cr2Mo、20Mn2TiB、20Cr2Ni4、20CrMnTi、32Cr2MoV、35MnB、H13、40Cr、45中低碳钢及其合金钢中的一种；

具体包括以下步骤：

(1)零件加工：零件基体毛坯→淬火→高温回火→粗加工→半精加工→去应力回火→精加工；

(2)零件表面预处理：采用金属清洗剂去除工件表面油污，漂洗烘干；

(3)零件表面处理：将零件依次放入酒精和丙酮中，超声清洗各40min，去除表面杂质和其它附着物，干燥充分后迅速放入PVD复合镀膜机，抽真空至7.0×10^-3Pa，加热至290℃，保温40min；

(4)表面辉光清洗：通Ar气，其压力为2.2-2.5Pa，温度280℃，打开偏压电源电压640V，占空比0.2，表面辉光放电清洗25min；

(5)表面离子清洗：偏压调至550V，占空比0.2，Ar气压2.0Pa，温度270℃，开启离子源，离子清洗25min，开启电弧C靶电源，C靶电流110A，离子轰击4～5min；

(6)离子镀渗碳：C靶离子镀电源调为110A，Ar气压1.3～1.5Pa，基体偏压调至490V，温度270℃，进行离子渗碳30-35min；

(7)沉积Mo涂层：Ar气压调为1.1～1.2Pa，偏压降为160V，沉积温度240℃，关闭C靶电流，打开磁控溅射Mo靶电流55A，沉积Mo涂层1.5～2min；

(8)沉积HfMoZrTiC涂层：Ar气压调为0.8～0.9Pa，偏压160V，沉积温度240℃，打开C靶电流至60A，打开磁控溅射Hf靶电流70A，磁控溅射Mo靶电流60A，磁控溅射Zr靶电流50A，磁控溅射Ti靶电流45A，沉积HfMoZrTiC涂层1～1.5min；其它参数不变，增加C靶电流，C靶电流每次增加2A，沉积HfMoZrTiC涂层1.5～2min，直至C靶电流增至90A，再沉积HfMoZrTiC涂层1～1.5min；

(9)重复(7)、(8)、(7)……：交替沉积Mo涂层、HfMoZrTiC涂层、Mo涂层、HfMoZrTiC涂层、……、Mo涂层、HfMoZrTiC涂层共40min；

(10)后处理：关闭各靶电源、离子源及气体源，涂层结束。