[发明专利]真空泵

权利要求书

1.一种真空泵，其具备：

泵室；

吸气通道，其用于向所述泵室引导气体；

排气通道，其包含向大气开放的排气口，从所述泵室向所述排气口引导气体；

可动部，其用于向所述泵室吸入气体以及从所述泵室排出气体；

阀体，其能够封闭所述排气口；以及

支撑部，其用于支撑所述阀体，

所述阀体在支撑于所述支撑部的状态下与所述排气口分离，

所述排气口朝向下方开口，

所述阀体在支撑于所述支撑部的状态下位于所述排气口的下方，

所述阀体的比重小于1。

2.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

所述支撑部与形成所述泵室、所述吸气通道以及所述排气通道的泵壳的至少一部分由相同材料形成为一体。

3.根据权利要求1或2所述的真空泵，其特征在于，

所述支撑部包含在支撑所述阀体的状态下使所述排气口与所述真空泵的外部连通的缺口部。

4.根据权利要求1或2所述的真空泵，其特征在于，

所述阀体形成为球状。

5.根据权利要求1或2所述的真空泵，其特征在于，

所述排气口的出口部形成朝向排气的下游侧扩开的锥状。

6.根据权利要求1或2所述的真空泵，其特征在于，

所述真空泵还具备覆盖所述排气口的周围的排气口罩盖部。

7.根据权利要求6所述的真空泵，其特征在于，

所述支撑部设置于所述排气口罩盖部的下端部，与所述排气口罩盖部由相同材料形成为一体。