[发明专利]一种光路装置以及OCT成像系统在审
申请号: | 201911036359.3 | 申请日: | 2019-10-29 |
公开(公告)号: | CN110609015A | 公开(公告)日: | 2019-12-24 |
发明(设计)人: | 苏胜飞 | 申请(专利权)人: | 深圳市太赫兹科技创新研究院有限公司;华讯方舟科技有限公司 |
主分类号: | G01N21/45 | 分类号: | G01N21/45;G01N21/01 |
代理公司: | 44414 深圳中一联合知识产权代理有限公司 | 代理人: | 郭雨桐 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 偏转 振镜 光路结构 分光束 反射 光路装置 平面反射 状态时 耦合器 光学相干层析技术 参考臂光路 样品臂光路 待测样品 单一光路 | ||
本发明属于光学相干层析技术领域,尤其涉及一种光路装置以及OCT成像系统。光路装置包括:光路结构,光路结构包括振镜以及平面反射结构,振镜用于从耦合器接收一分光束并向外偏转反射分光束,振镜具有第一偏转状态以及第二偏转状态,振镜处于第一偏转状态时将分光束反射向平面反射结构,而处于第二偏转状态时则将分光束反射向待测样品。光路结构至少设置有两个,各振镜分别从耦合器接收一分光束,至少一个振镜处于第一偏转状态,至少一个振镜处于第二偏转状态。本发明不但使任意一光路结构具备参考臂光路结构的功能以及样品臂光路结构的功能,扩大了单一光路结构的功能范围,而且所有的光路结构在功能和结构上等效,降低生产成本。
技术领域
本发明属于光学相干层析技术领域,尤其涉及一种光路装置以及OCT成像系统。
背景技术
目前,光学相干层析成像(OCT,Optical Coherence tomography)是近十几年来新兴的成像技术,因其具有高分辨率、无损伤、非接触式测量等优点,吸引越来越多的关注。该成像技术利用弱相干光干涉仪的基本原理,其核心部件是宽带光源和迈克尔逊干涉仪,在信号采集过程中,来自宽带光源的相干光在迈克尔逊干涉仪中被分成两部分,一部分是参考光被反射探测器,另一部分作为探测光进入样品,不同样品深度的反射光或者散射光与参考光形成干涉光谱,对探测到的干涉光谱进行分析以得到样品的深度信息,再通过参考光或者样品的二维移动扫描得到样品最终的三维信息。
但是,在此类的OCT成像系统中,通常只有一个样品臂或参考臂,而且样品臂仅限于扫描待测样品,参考臂仅限于返回参考光,在OCT的工业应用之中往往需要两个或者以上的样品臂来对产线上的样品进行OCT检测。因此需要多个OCT成像系统,而设置多个OCT成像系统的成本又较高。
发明内容
本发明的目的在于提供一种光路装置,旨在解决如何在一个OCT成像系统中形成至少两个样品臂或至少两个参考臂的问题。
本发明提供了一种光路装置,与宽带光源和耦合器配合使用,以扫描待测样品,所述宽带光源发出源光束,所述耦合器用于将所述源光束分成多个分光束,所述光路装置包括:光路结构,所述光路结构包括振镜以及平面反射结构,所述振镜用于从所述耦合器接收一所述分光束并向外偏转反射所述分光束,所述振镜具有第一偏转状态以及第二偏转状态,所述振镜处于所述第一偏转状态时将所述分光束反射向所述平面反射结构,而处于所述第二偏转状态时则将所述分光束反射向所述待测样品;
其中,所述光路结构至少设置有两个,各所述振镜分别从所述耦合器接收一所述分光束,至少一个所述振镜处于所述第一偏转状态,至少一个所述振镜处于所述第二偏转状态。
本发明的技术效果是:在同一光路结构中,通过振镜于第一偏转状态和第二偏转状态之间切换,可以使该光路结构于参考臂光路结构以及样品臂光路结构之间切换。这不但使任意一光路结构具备参考臂光路结构的功能以及样品臂光路结构的功能,扩大了单一光路结构的功能范围,以满足不同的扫描需求,而且所有的光路结构在功能和结构上等效,提高了零件的通用性,在批量生产时,易形成规模效应,降低生产成本。
附图说明
图1是本发明实施例所提供的OCT成像系统的结构示意图。
附图中标号与名称对应的关系如下所示:
100、OCT成像系统;10、宽带光源;20、光谱分析仪;30、耦合器;40、准直透镜;11、分光束;50'、第一偏转状态;50”、第二偏转状态;50、振镜;62、平面反射结构;61、待测样品;101、光路装置;101'、样品臂光路结构;101”、参考臂光路结构;63、聚焦透镜;
具体实施方式
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