[发明专利]深紫外微腔激光器

权利要求书

1.一种深紫外微腔激光器，其特征在于，所述深紫外微腔激光器包括：椭圆腔体，以及位于所述椭圆腔体内的发光微米棒和激发光源；所述椭圆腔体内有两个焦点位置，所述发光微米棒位于一个焦点位置，所述激发光源位于另一个焦点位置；

所述发光微米棒由上转换发光材料M-N³⁺组成；其中，M为晶体材料和/或微晶玻璃，N³⁺为实现上转换发光的稀土离子；所述发光微米棒沿发光方向的两端设置有分布式布拉格反射膜；

所述激发光源激发所述发光微米棒200-320nm的深紫外发光，所述椭圆腔体的内表面设置有全反射所述激发光源的反射膜。

2.如权利要求1所述的深紫外微腔激光器，其特征在于，所述椭圆腔体的横截面的椭圆标准方程为其中，2cma10cm，2cmb10cm，a＞b。

3.如权利要求2所述的深紫外微腔激光器，其特征在于，所述椭圆腔体的焦点位置F1的坐标为焦点位置F2的坐标为所述发光微米棒位于所述焦点位置F1，所述激发光源位于所述焦点位置F2。

4.如权利要求1所述的深紫外微腔激光器，其特征在于，所述分布式布拉格反射膜对200-320nm的深紫外波段具有85-95％的反射率。

5.如权利要求1所述的深紫外微腔激光器，其特征在于，所述激发光源的激发波长为980nm，所述椭圆腔体的内表面设置的反射膜为全反射980nm的光。

6.如权利要求1所述的深紫外微腔激光器，其特征在于，所述激发光源为脉冲激光器光源或者连续激光器光源。

7.如权利要求1所述的深紫外微腔激光器，其特征在于，所述发光微米棒的直径为100-200μm，所述发光微米棒的长度为1000-2000μm。

8.如权利要求1-7任一项所述的深紫外微腔激光器，其特征在于，所述上转换发光材料M-N³⁺中，晶体材料选自LaF₃和YAG中的至少一种；和/或，

微晶玻璃选自45SiO₂-15Al₂O₃-12Na₂CO₃-Ba₂LaF₇、40SiO₂-8AlF₃-4TiO₂-20BaF₂、40SiO₂-13Al₂O₃-10Na₂CO₃-20BaF₂、InF₃-25ZnF₂-25SrF₂-15BaF₂-5NaF-1GaF₃和40SiO₂-20Al₂O₃-20-xNa₂O-5MgO-10NaYF₄中的至少一种；和/或，

所述稀土离子选自Yb³⁺、Tm³⁺和Gd³⁺中的至少两种，且包括Yb³⁺和Tm³⁺。

9.如权利要求1-7任一项所述的深紫外微腔激光器，其特征在于，所述椭圆腔体的内表面设置的全反射所述激发光源的反射膜为铝膜。

10.如权利要求1-7任一项所述的深紫外微腔激光器，其特征在于，所述发光微米棒和所述激发光源沿发光方向平行。