[发明专利]一种用于金刚石压机的多功能宽范围光谱测量装置

权利要求书

1.一种用于金刚石压机的多功能宽范围光谱测量装置，其特征在于，包括：

激光入射部，信号接收部，及显微光路部；

所述显微光路部包括：第一光路切换器，第二光路切换器，荧光照明设备，物镜组，载物台，第一反射镜；

所述信号接收部包括第三光路切换器及至少一个光谱仪，所述信号接收部用于采集吸收光谱，反射光谱，荧光光谱及成像；

所述第一光路切换器与信号接收部连接，所述第二光路切换器与激光入射部连接。

2.根据权利要求1所述的用于金刚石压机的多功能宽范围光谱测量装置，其特征在于，所述第一光路切换器包括第二反射镜及第一分束镜；所述第二光路切换器包括荧光滤光片组；所述第三光路切换器包括第三反射镜及第二分束镜。

3.根据权利要求1所述的用于金刚石压机的多功能宽范围光谱测量装置，其特征在于，所述物镜组包括明暗场物镜、反射式物镜，紫外物镜、可见物镜、近红外物镜，以及用于切换物镜的物镜转盘，用于适配明暗场物镜及反射式物镜的物镜转接件。

4.根据权利要求3所述的用于金刚石压机的多功能宽范围光谱测量装置，其特征在于，第一光信号经荧光照明设备，物镜组，照射至载物台的样品，选择所述明暗场物镜测量可见光波段的反射光谱，选择所述反射式物镜测量全波段的反射光谱。

5.根据权利要求3所述的用于金刚石压机的多功能宽范围光谱测量装置，其特征在于，所述激光入射部包括激光路由器，激光路由器产生的第二光信号经第三反射镜、第二光路切换器、荧光照明设备、物镜组、照射至载物台的样品，通过光谱仪采集荧光光谱；所述第三反射镜为二向色滤光片。

6.根据权利要求3所述的用于金刚石压机的多功能宽范围光谱测量装置，其特征在于，所述用于金刚石压机的多功能宽范围光谱测量装置还包括透射入射光源部，所述透射入射光源部发出的第三光信号经第一反射镜照射至载物台的样品，通过光谱仪采集样品透射光谱，比较无样品的空白透射光谱及样品透射光谱获得吸收光谱；所述物镜组选择第一长度紫外物镜、第一长度可见物镜、第一长度近红外物镜用于透射光谱测量，所述第一长度大于12mm。

7.根据权利要求1所述的用于金刚石压机的多功能宽范围光谱测量装置，其特征在于，所述第一光路切换器及所述第三光路切换器包括分束器档及反射镜档；选择所述第一光路切换器或所述第三光路切换器的分束器进行光学成像，选择所述第一光路切换器或所述第三光路切换器的反射镜档进行光谱采集。

8.根据权利要求1所述的用于金刚石压机的多功能宽范围光谱测量装置，其特征在于所述激光入射部包括入射爬高架及激光路由器，所述激光路由器包括紫外激光通道，蓝光激光通道，绿光激光通道，红光激光通道，及预留激光通道；所述荧光照明设备包括紫外分束镜档，可见光分束镜档，近红外分束镜档，及暗场模块档。

9.根据权利要求1所述的用于金刚石压机的多功能宽范围光谱测量装置，其特征在于，所述显微光路部还包括：曝光相机，目镜；所述信号接收部还包括：观察相机，光纤光源；所述荧光照明设备还包括氙灯光源，所述氙灯光源用于发出第一光信号。

10.根据权利要求2所述的用于金刚石压机的多功能宽范围光谱测量装置，其特征在于，所述第一分束镜及第二分束镜为350-1000nm的中性分束镜。