[发明专利]位移传感器

权利要求书

1.一种位移传感器，具备：

整流器，其对流过使被测定物产生涡流的线圈的电流进行整流并从输出端子输出；

信号变换器，其将基于所述整流器的输出换算为被测定物的位移的电压或电流从输出端子输出；

信号特性改善部，其配置在从所述整流器的输出端子至所述信号变换器的输出端子为止的路径，获取所述线圈周边的温度，基于该温度，使校正值在高温时相比于低温时提高，由此改善所述信号变换器的输出的特性；以及

温度测量器，其测量所述线圈周边的温度，

其中，所述信号变换器为线性化器，

所述信号特性改善部具有：

可变增益放大器，其生成使所述整流器的输出乘以增益而得到的信号；以及

增益调整部，其基于由所述温度测量器测量出的温度来调整所述增益，以改善所述线性化器的输出相对于所述位移的线性度，

所述位移传感器还具备相关关系保存部，所述相关关系保存部保存所述线圈周边的温度与由所述增益调整部调整后的增益之间的相关关系，

所述增益调整部从所述相关关系保存部获取与由所述温度测量器测量出的温度对应的所述增益。

2.根据权利要求1所述的位移传感器，其特征在于，

所述可变增益放大器具有用于生成使所述整流器的输出乘以所述增益而得到的信号的模拟乘法器或乘法型D/A转换器，

所述模拟乘法器或所述乘法型D/A转换器的输出被输入到所述线性化器。

3.根据权利要求1或2所述的位移传感器，其特征在于，还具备：

基板，其安装了所述线圈、所述整流器以及所述信号变换器；以及

基板温度测量器，其测量所述基板的温度，

其中，所述信号特性改善部基于由所述温度测量器测量出的所述线圈的温度以及由所述基板温度测量器测量出的所述基板的温度，来改善所述信号变换器的输出特性。

4.根据权利要求1或2所述的位移传感器，其特征在于，

还具有自激式振荡电路，所述自激式振荡电路利用所述线圈的阻抗来进行振荡动作并输出振荡信号，

所述自激式振荡电路的振荡电平受到由在所述被测定物中产生的涡流引起的所述线圈的阻抗的变化的影响而发生变化。

5.根据权利要求1或2所述的位移传感器，其特征在于，

所述线圈是无芯的线圈或者有芯的线圈。

6.一种位移传感器，具备：

整流器，其对流过使被测定物产生涡流的线圈的电流进行整流并从输出端子输出；

信号变换器，其将基于所述整流器的输出换算为被测定物的位移的电压或电流从输出端子输出；

信号特性改善部，其配置在从所述整流器的输出端子至所述信号变换器的输出端子为止的路径，获取所述线圈周边的温度，基于该温度，使校正值在高温时相比于低温时提高，由此改善所述信号变换器的输出的特性；以及

温度测量器，其测量所述线圈周边的温度，

其中，所述信号变换器为线性化器，

所述信号特性改善部根据由所述温度测量器测量出的温度来对所述线性化器的输入输出特性进行校正，以改善所述线性化器的输入输出特性的线性度，且基于折线函数来对所述整流器的输出进行电平变换并输出，

其中，该折线函数是输入输出特性在根据由所述温度测量器测量出的温度的不同而不同的基准信号电平处发生变化的函数。

7.根据权利要求6所述的位移传感器，其特征在于，

由所述温度测量器测量出的温度越高，所述信号特性改善部使所述折线函数的所述基准信号电平越低。

8.根据权利要求6或7所述的位移传感器，其特征在于，还具备：

基板，其安装了所述线圈、所述整流器以及所述信号变换器；以及

基板温度测量器，其测量所述基板的温度，

其中，所述信号特性改善部基于由所述温度测量器测量出的所述线圈的温度以及由所述基板温度测量器测量出的所述基板的温度，来改善所述信号变换器的输出特性。