[发明专利]一种新型石英坩埚的制备方法在审
| 申请号： | 201910964642.6 | 申请日： | 2019-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN110629281A | 公开（公告）日： | 2019-12-31 |
| 发明（设计）人： | 吴树飞;徐强;高润飞;王林;谷守伟;王建平;周泽;杨志;赵国伟;刘振宇;王鑫;刘学;皇甫亚楠;杨瑞峰;郭志荣 | 申请（专利权）人： | 内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10;C30B29/06;C04B35/14;C04B35/64;C04B41/85 |
| 代理公司： | 12213 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 010070 内蒙古自*** | 国省代码： | 内蒙;15 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 石英坩埚 坩埚 气泡层 透明层 制备 单晶硅棒 新型石英 拉制 毛坯 涂敷 上端开口 使用寿命 转化效率 内涂层 外涂层 变形 | ||
1.一种新型石英坩埚的制备方法，其特征在于，制备毛坯坩埚，所述毛坯坩埚从内到外依次包括透明层和气泡层；在所述透明层远离所述气泡层一侧涂敷一层内涂层；在所述气泡层远离所述透明层一侧涂敷一层外涂层。
2.根据权利要求1所述的一种新型石英坩埚的制备方法，其特征在于，在烧制炉内进行真空烧结制备所述透明层和所述气泡层；所述烧制炉真空度不小于1.55Pa。
3.根据权利要求2所述的一种新型石英坩埚的制备方法，其特征在于，所述烧制炉高温烧结温度为1750-1850℃，烧结时间为35-45min。
4.根据权利要求3所述的一种新型石英坩埚的制备方法，其特征在于，所述透明层由99.9999％的高纯度石英砂粉与少量钡粉混合制成。
5.根据权利要求4所述的一种新型石英坩埚的制备方法，其特征在于，所述钡粉含量为0.03-0.05g/kg。
6.根据权利要求1-5任一项所述的一种新型石英坩埚的制备方法，其特征在于，在涂敷所述内涂层和所述外涂层之前还包括对所述毛坯坩埚进行清洗。
7.根据权利要求7所述的一种新型石英坩埚的制备方法，其特征在于，所述清洗依次包括酸洗、水洗、高压清洗和超声波清洗。
8.根据权利要求7所述的一种新型石英坩埚的制备方法，其特征在于，所述酸洗液为质量比为6-8％的氢氟酸。
9.根据权利要求1-5、7-8任一项所述的一种新型石英坩埚的制备方法，其特征在于，所述内涂层和所述外涂层均由喷涂氢氧化钡溶液形成的涂层。
10.根据权利要求9所述的一种新型石英坩埚的制备方法，其特征在于，所述氢氧化钡溶液为饱和溶液。
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