[发明专利]干膜镀厚铜的高导热DPC陶瓷基板自动测量方法有效

专利信息
申请号: 201910958914.1 申请日: 2019-10-10
公开(公告)号: CN110715607B 公开(公告)日: 2022-11-01
发明(设计)人: 李绍东 申请(专利权)人: 西安柏芯创达电子科技有限公司
主分类号: G01B11/06 分类号: G01B11/06;C25D21/12
代理公司: 厦门市新华专利商标代理有限公司 35203 代理人: 吴成开;徐勋夫
地址: 710000 陕西省西安市雁塔区西*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 干膜镀厚铜 导热 dpc 陶瓷 自动 测量方法
【说明书】:

发明公开一种干膜镀厚铜的高导热DPC陶瓷基板自动测量方法,包括有由下步骤:(1)在DPC陶瓷基板上设置定位点和至少一个干膜测试点;(2)将DPC陶瓷基板置于测量设备上;(3)启动测量设备,通过传送装置将DPC陶瓷基板自动定位输送到激光器和CCD的正下方,通过CCD抓取定位点实现自动对位后,开启其中一个干膜测试点的测量模式,该激光器工作对其中一个干膜测试点进行破坏;(4)通过传送装置将DPC陶瓷基板继续输送至轮廓扫描仪的正下方,轮廓扫描仪根据目前设定的干膜测试点程序进行对应扫描,扫描轮廓得到一段高低差的曲线,然后通过算法自动计算最高点与最低点的差值,即为当前的铜厚。

技术领域

本发明涉及DPC陶瓷基板制备领域技术,尤其是指一种干膜镀厚铜的高导热DPC陶瓷基板自动测量方法。

背景技术

DPC陶瓷基板具有高导热的有点,其广泛用于LED光源的封装,DPC陶瓷基板在制作的过程中需要进行镀厚铜,目前做DPC陶瓷基板行业内,镀铜厚度普遍要达到50um以上,普遍的做法是通过干膜曝光显影的方式进行厚铜沉积。在电镀过程中,由于电流波动以及多方面因素影响,产品在规定时间内经常会有厚度不符的情况发生,而目前针对这种电镀过程中的板铜厚测量技术有限,市面上目前能够穿透铜厚的X-ray最大厚度可测量40μm,超过40μm的无法穿透。因此,有必要研究一种方案,以解决上述问题。

发明内容

有鉴于此,本发明针对现有技术存在之缺失,其主要目的是提供一种干膜镀厚铜的高导热DPC陶瓷基板自动测量方法,其能有效解决现有之DPC陶瓷基板在电镀过程中无法有效对镀铜厚度进行测量的问题。

为实现上述目的,本发明采用如下之技术方案:

一种干膜镀厚铜的高导热DPC陶瓷基板自动测量方法,包括有由下步骤:

(1)在DPC陶瓷基板上设置定位点和至少一个干膜测试点;

(2)将DPC陶瓷基板置于测量设备上,该测量设备包括有机架、传送装置、激光器、CCD以及轮廓扫描仪;该传送装置设置于机架上,该激光器、CCD和轮廓扫描仪均设置于机架上并位于传送装置的上方,CCD位于激光器的侧旁,该轮廓扫描仪位于激光器的后方;

(3)启动测量设备,通过传送装置将DPC陶瓷基板自动定位输送到激光器和CCD的正下方,通过CCD抓取定位点实现自动对位后,开启其中一个干膜测试点的测量模式,该激光器工作对其中一个干膜测试点进行破坏;

(4)通过传送装置将DPC陶瓷基板继续输送至轮廓扫描仪的正下方,轮廓扫描仪根据目前设定的干膜测试点程序进行对应扫描,扫描轮廓得到一段高低差的曲线,然后通过算法自动计算最高点与最低点的差值,即为当前的铜厚。

作为一种优选方案,所述传送装置为皮带传送装置。

作为一种优选方案,所述激光器为CO2激光器。

作为一种优选方案,所述干膜测试点为多个,其并排间隔设置在DPC陶瓷基板的表面边缘。

作为一种优选方案,所述机架上设置有调焦机构,该激光器和CCD均安装在调焦机构上。

本发明与现有技术相比具有明显的优点和有益效果,具体而言,由上述技术方案可知:

通过在DPC陶瓷基板上设置定位点和至少一个干膜测试点,并配合利用测量设备,可在DPC陶瓷基板的镀铜过程中随时监控镀铜厚度,为生产作业带来便利。

为更清楚地阐述本发明的结构特征和功效,下面结合附图与具体实施例来对本发明进行详细说明。

附图说明

图1是本发明之较佳实施例的测量设备结构示意图;

图2是本发明之较佳实施例中DPC陶瓷基板的俯视图;

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