[发明专利]干膜镀厚铜的高导热DPC陶瓷基板自动测量方法有效
申请号: | 201910958914.1 | 申请日: | 2019-10-10 |
公开(公告)号: | CN110715607B | 公开(公告)日: | 2022-11-01 |
发明(设计)人: | 李绍东 | 申请(专利权)人: | 西安柏芯创达电子科技有限公司 |
主分类号: | G01B11/06 | 分类号: | G01B11/06;C25D21/12 |
代理公司: | 厦门市新华专利商标代理有限公司 35203 | 代理人: | 吴成开;徐勋夫 |
地址: | 710000 陕西省西安市雁塔区西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 干膜镀厚铜 导热 dpc 陶瓷 自动 测量方法 | ||
本发明公开一种干膜镀厚铜的高导热DPC陶瓷基板自动测量方法,包括有由下步骤:(1)在DPC陶瓷基板上设置定位点和至少一个干膜测试点;(2)将DPC陶瓷基板置于测量设备上;(3)启动测量设备,通过传送装置将DPC陶瓷基板自动定位输送到激光器和CCD的正下方,通过CCD抓取定位点实现自动对位后,开启其中一个干膜测试点的测量模式,该激光器工作对其中一个干膜测试点进行破坏;(4)通过传送装置将DPC陶瓷基板继续输送至轮廓扫描仪的正下方,轮廓扫描仪根据目前设定的干膜测试点程序进行对应扫描,扫描轮廓得到一段高低差的曲线,然后通过算法自动计算最高点与最低点的差值,即为当前的铜厚。
技术领域
本发明涉及DPC陶瓷基板制备领域技术,尤其是指一种干膜镀厚铜的高导热DPC陶瓷基板自动测量方法。
背景技术
DPC陶瓷基板具有高导热的有点,其广泛用于LED光源的封装,DPC陶瓷基板在制作的过程中需要进行镀厚铜,目前做DPC陶瓷基板行业内,镀铜厚度普遍要达到50um以上,普遍的做法是通过干膜曝光显影的方式进行厚铜沉积。在电镀过程中,由于电流波动以及多方面因素影响,产品在规定时间内经常会有厚度不符的情况发生,而目前针对这种电镀过程中的板铜厚测量技术有限,市面上目前能够穿透铜厚的X-ray最大厚度可测量40μm,超过40μm的无法穿透。因此,有必要研究一种方案,以解决上述问题。
发明内容
有鉴于此,本发明针对现有技术存在之缺失,其主要目的是提供一种干膜镀厚铜的高导热DPC陶瓷基板自动测量方法,其能有效解决现有之DPC陶瓷基板在电镀过程中无法有效对镀铜厚度进行测量的问题。
为实现上述目的,本发明采用如下之技术方案:
一种干膜镀厚铜的高导热DPC陶瓷基板自动测量方法,包括有由下步骤:
(1)在DPC陶瓷基板上设置定位点和至少一个干膜测试点;
(2)将DPC陶瓷基板置于测量设备上,该测量设备包括有机架、传送装置、激光器、CCD以及轮廓扫描仪;该传送装置设置于机架上,该激光器、CCD和轮廓扫描仪均设置于机架上并位于传送装置的上方,CCD位于激光器的侧旁,该轮廓扫描仪位于激光器的后方;
(3)启动测量设备,通过传送装置将DPC陶瓷基板自动定位输送到激光器和CCD的正下方,通过CCD抓取定位点实现自动对位后,开启其中一个干膜测试点的测量模式,该激光器工作对其中一个干膜测试点进行破坏;
(4)通过传送装置将DPC陶瓷基板继续输送至轮廓扫描仪的正下方,轮廓扫描仪根据目前设定的干膜测试点程序进行对应扫描,扫描轮廓得到一段高低差的曲线,然后通过算法自动计算最高点与最低点的差值,即为当前的铜厚。
作为一种优选方案,所述传送装置为皮带传送装置。
作为一种优选方案,所述激光器为CO2激光器。
作为一种优选方案,所述干膜测试点为多个,其并排间隔设置在DPC陶瓷基板的表面边缘。
作为一种优选方案,所述机架上设置有调焦机构,该激光器和CCD均安装在调焦机构上。
本发明与现有技术相比具有明显的优点和有益效果,具体而言,由上述技术方案可知:
通过在DPC陶瓷基板上设置定位点和至少一个干膜测试点,并配合利用测量设备,可在DPC陶瓷基板的镀铜过程中随时监控镀铜厚度,为生产作业带来便利。
为更清楚地阐述本发明的结构特征和功效,下面结合附图与具体实施例来对本发明进行详细说明。
附图说明
图1是本发明之较佳实施例的测量设备结构示意图;
图2是本发明之较佳实施例中DPC陶瓷基板的俯视图;
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安柏芯创达电子科技有限公司,未经西安柏芯创达电子科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201910958914.1/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。