[发明专利]红外干燥装置

说明书

本发明涉及一种红外干燥装置，包括一具有开口的腔体结构，以及能够盖合该开口的盖体，所述腔体结构的内侧壁上设置有红外加热部件，还包括将所述腔体结构划分为第一腔体和第二腔体的透明隔离件，所述红外加热部件设置于所述第一腔体内，所述第二腔体用于容纳待干燥部件。通过透镜隔离件将腔体结构划分为第一腔体和第二腔体，红外加热部件位于第一腔体内，第二腔体用于容纳待干燥部件，清洗时，只需清洗第二腔体，并且由于第一腔体和第二腔体是隔离的，第二腔体进行清洗时，不会对红外灯造成任何影响，可以实现更好的清洁效果。

技术领域

本发明涉及干燥技术领域，尤其涉及一种红外干燥装置。

背景技术

随着半导体元件的日益精细化，硅片清洗工艺也要求越来越严格，在清洗工艺的末端会有干燥的步骤，红外干燥槽内会有若干根红外灯对槽体内进行红外辐照，红外光纤通过照射到硅片上的红外光、使硅片和硅片周边处于被干燥的状态，达到干燥的目的，但是，由于红外灯周边不可以有水或水蒸汽，对于干燥槽并无太好的保养办法，会有部分区域无法进行清洁，会导致干燥槽内部有更多的颗粒或其他污染物沉积，当有紊乱气流或震动等异常，或有硅片被污染的风险。

发明内容

为了解决上述技术问题，本发明提供一种红外干燥装置，解决无法对红外干燥装置的腔体结构的所有区域进行清洗的问题。

为了达到上述目的，本发明采用的技术方案是：一种红外干燥装置，包括一具有开口的腔体结构，以及能够盖合该开口的盖体，所述腔体结构的内侧壁上设置有红外加热部件，还包括将所述腔体结构划分为第一腔体和第二腔体的透明隔离件，所述红外加热部件设置于所述第一腔体内，所述第二腔体用于容纳待干燥部件。

可选的，所述腔体结构具有所述开口的一端的侧边上设置有可拆卸的盖板，所述盖板的内侧面上设置有第一卡槽，所述腔体结构的底部设置有与所述第一卡槽相配合以卡接所述透明隔离件的第二卡槽，所述盖体连接于所述盖板上。

可选的，所述第一卡槽与所述透明隔离件之间设置有第一密封件，所述第二卡槽与所述透明隔离件之间设置有第二密封件。

可选的，所述透明隔离件与所述腔体结构的内侧壁平行设置。

可选的，所述透明隔离件采用石英玻璃制成的玻璃板。

可选的，所述透明隔离件位于所述第二腔体的一侧表面上设置有防护网。

可选的，还包括排水管道，所述排水管道与所述第二腔体的底部的出口连通，所述排水管道上设置有阀门。

可选的，所述排水管道与所述出口连接的一端为漏斗状。

可选的，所述出口向外延伸形成管状部，所述管状部上套设一环状部件，所述排水管道连接于所述环状部件上，所述环状部件的内侧壁上设置有多个通风开口，沿所述多个通风开口向靠近所述腔体结构的方向斜向延伸、并贯穿所述环状部件的外侧壁形成多个排风通孔。

可选的，所述腔体结构的底部还设置有盖设于所述出口上的过滤防护网。

本发明的有益效果是：通过透镜隔离件将腔体结构划分为第一腔体和第二腔体，红外加热部件位于第一腔体内，第二腔体用于容纳待干燥部件，清洗时，只需清洗第二腔体，并且由于第一腔体和第二腔体是隔离的，第二腔体进行清洗时，不会对红外灯造成任何影响，可以实现更好的清洁效果。

附图说明

图1表示本发明实施例中红外干燥装置的结构示意图；

图2表示本发明实施例中待干燥部件置于第二腔体内的状态示意图。

具体实施方式