[发明专利]一种试验机中使用的平面小规格溅射靶材的绑定方法

说明书

本发明涉及一种试验机中使用的平面小规格溅射靶材的绑定方法，包括以下步骤：步骤一：铜背板和靶胚预处理：分别对铜背板和靶胚的绑定面进行喷砂处理；步骤二：高温胶制备：将双组份硅酮弹性体搅拌；步骤三：绑定处理：选取绑定层，将制备好的高温胶均匀涂覆在铜背板和靶胚的绑定面上；将绑定层铺在已经涂好高温胶的铜背板上；将靶胚的涂胶面向下，使靶胚和铜背板完全贴合；对高温胶进行凝固处理，即完成靶材绑定作业。本发明避免了绑定工序高温作业，减轻劳动强度；低温条件下绑定，避免了铜背板变形，满足靶材平面度要求；绑定材质高温胶失效温度高，满足靶材对高熔点绑定层的要求；操作简单，相比于普通绑定技术效率高，成本低。

技术领域

本发明涉及靶材绑定技术领域，尤其涉及一种试验机中使用的平面小规格溅射靶材的绑定方法。

背景技术

在研究机构，高校或者镀膜厂家实验室有很多镀膜机进行各种各样膜系研究。考虑到成本，操作等因素，往往这种试验镀膜机结构都比较简单，没有量产机型复杂的阴极系统，所使用的靶材规格也很小，一般常见的规格有：直径2-4英寸，厚度6毫米左右。因此设备的冷却系统相对简单，这就对靶材绑定提出了更高的要求，主要靶材的平面度和绑定层的熔点。

试验机型所使用的靶材种类繁多，金属、非金属、化合物、混合物到各种合金。各种类型的靶材都有不同的实验条件，尤其是陶瓷化合物和混合物，它们相对密度不高，脆性大，在普通绑定过程中容易出现开裂等问题。

为了提高焊层熔点温度，必须使用熔点较高的绑定材质，这就意味着绑定工作平台温度提高。绑定温度提高容易造成以下后果：1.由于靶材的铜背板厚度较薄，平台温度升高会使背板变形造成受热不均匀，靶材绑定容易开裂。2.陶瓷靶材在较高温度下完成绑定，铜背板变形严重，由于陶瓷易碎等特性，无法进行校正，造成靶材平面度无法达到使用要求。

所以在平面试验型溅射靶材对靶材绑定技术提出更高的要求：1.绑定材质熔点要高；2.绑定作业温度尽量低，溅射铜背板和材料的变形。

发明内容

(一)要解决的技术问题

为了解决现有技术的上述问题，本发明提供一种试验机中使用的平面小规格溅射靶材的绑定方法，其操作简单，相比于普通绑定技术效率高，成本低，避免了绑定工序高温作业，减轻劳动强度。

(二)技术方案

为了达到上述目的，本发明采用的主要技术方案包括：

一种试验机中使用的平面小规格溅射靶材的绑定方法，包括以下步骤：

步骤一：铜背板和靶胚预处理：

a)、绑定面喷砂：分别对铜背板和靶胚的绑定面进行喷砂处理，

步骤二：高温胶制备：

d)、将双组份硅酮弹性体进行搅拌3-5分钟，使悬浮液颜色均匀形成高温胶；

步骤三：绑定处理：

e)、选取绑定层，

f)、将铜背板的绑定面朝上；

g)、将制备好的高温胶均匀涂覆在铜背板和靶胚的绑定面上，

h)、将绑定层铺在已经涂好高温胶的铜背板上；

j)、将靶胚的涂胶面向下，采用单边盖合的方式进行靶胚与铜背板(1)的贴合；

k)、在靶胚的靶表面压重物，初步固定位置；

l)、调整靶胚位置后进行重新压重物，使靶胚和铜背板完全贴合，厚度正好是绑定层的厚度，使靶胚、绑定层和铜背板接触良好，保证了靶材整体的导电性；

m)、对高温胶进行凝固处理；