[发明专利]一种评估CIS产品不同机台白色像素差异的方法

说明书

本发明提供一种评估CIS产品不同机台白色像素差异的方法，将数据库中以往产品的白色像素值进行等级分类并等级系数；按照不同机台在各自工艺步骤下的白色像素平均值对该机台进行相同的等级分类，该平均值对应于数据库中以往产品的白色像素值所属的等级以及等级系数；将新产品用不同工艺的机台进行多个工艺步骤完成整个工艺流程，将该新产品进行每个工艺步骤的机台对应的等级系数相加，得到该新产品的白色像素等级；对新产品进行测试，得到其白色像素值，将该白色像素值与该新产品的白色像素等级进行对应，评估CIS产品不同机台的白色像素差异。本发明可以在计算时间较短的情况下得到大量数据，时效性强并且准确率高，有助于提高产能。

技术领域

本发明涉及半导体制造领域，特别是涉及一种评估CIS产品不同机台白色像素差异的方法。

背景技术

现有方法计算不同机台下CIS产品白色像素水平差异时，往往通过对产品一段时间的数据按照机台进行分析，计算出各个机台下CIS产品白色像素的平均值，然后对数据源的数据量和平均值综合分析求得不同机台的性能差异。现有方法计算量相对较小，计算时间长，时效性短，准确性也较差。

因此，需要提出一种新的评估CIS产品不同机台白色像素差异的方法来解决上述问题。

发明内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种评估CIS产品不同机台白色像素差异的方法，用于解决现有技术中评估CIS产品不同机台白色像素差异的方法计算量小，计算时间长，时效性短，准确性差的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种评估CIS产品不同机台白色像素差异的方法，该方法至少包括以下步骤：步骤一、将数据库中以往产品的白色像素值进行等级分类，并定义每个等级的等级系数；步骤二、按照不同机台在各自工艺步骤下的白色像素平均值对该机台进行与步骤一中相同的等级分类，所述机台的白色像素平均值对应于步骤一中所述数据库以往中产品的白色像素值所属的等级类别以及所述每个等级对应的等级系数；步骤三、将新产品利用不同工艺的所述机台进行多个工艺步骤完成整个工艺流程，将该新产品进行每个工艺步骤的机台对应的等级系数相加，得到该新产品的白色像素等级；步骤四、对所述新产品进行测试，得到其白色像素值，将该白色像素值与该新产品的白色像素等级进行对应，评估CIS产品不同机台的白色像素差异。

优选地，骤一中将所述数据库中以往产品的白色像素值按照正交分布进行等级分类。

优选地，步骤一中的等级分类为：最好、次好、基准、次差、最差五个等级。

优选地，对步骤一中所述五个等级依次进行等差赋值，形成所述每个等级对应的等级系数。

优选地，步骤一中所述五个等级依次进行等差赋值中，等级“最好”赋值为1，等级“次好”赋值为0.5，“基准”赋值为0，等级“次差”赋值为-0.5，等级“最差”赋值为-1。

优选地，步骤二中对不同机台在各自工艺步骤下的白色像素平均值进行的等级分类为：最好、次好、基准、次差、最差五个等级。

优选地，对步骤二中所述五个等级依次进行等差赋值，形成所述每个等级对应的等级系数。

优选地，对步骤二中所述五个等级依次进行等差赋值中，等级“最好”赋值为1，等级“次好”赋值为0.5，“基准”赋值为0，等级“次差”赋值为-0.5，等级“最差”赋值为-1。

如上所述，本发明的评估CIS产品不同机台白色像素差异的方法，具有以下有益效果：本发明通过对某一机台的产品白色像素水平持续追踪并计算，在历史数据的基础上可以不断更新数据，本发明可以在计算时间较短的情况下得到大量数据，时效性强并且准确率高，有助于提高产能。

附图说明

图1显示为本发明的评估CIS产品不同机台白色像素差异的方法流程示意图；