[发明专利]一种基于FFU的无尘间洁净度闭环控制系统

说明书

本发明涉及一种基于FFU的无尘间洁净度闭环控制系统，涉及无尘加工辅助设备的技术领域，其包括粒子计数器，设置于无尘间内，用于检测无尘间空气中的粉尘颗粒浓度并输出颗粒浓度信号V1；上位机，与粒子计数器电连接，用于接收颗粒浓度信号并与预设值进行对比，且当颗粒浓度信号与预设值产生差值时上位机输出控制信号V2；控制器，设置于无尘间内，与上位机电连接且与风机电连接，用于接收并响应控制信号V2以控制风机转速升高。本发明具有减少洁净度无法满足要求的情况的出现时间从而避免产生相关设备损耗或者产品不良率升高的情况的效果。

技术领域

本发明涉及无尘加工辅助设备的技术领域，尤其是涉及一种基于FFU的无尘间洁净度闭环控制系统。

背景技术

目前，FFU，即风机过滤单元，利用其内部的风机(电机+叶轮)将空气(风)吸入，所吸收的空气(风)经过FFU下面的HEPA(高效空气过滤器)或者ULPA(超高效过滤器)滤网，将空气中的大颗粒的尘埃微粒子过滤掉，最后把新风以0.45m/s±10％的风速均匀送到洁净室。

FFU群控系统是用于控制多个FFU的系统，而目前FFU群控系统的除尘方式还只是单方面无反馈的，其无法获取洁净室或者厂房的洁净度情况，因此难以根据实际洁净度情况调节风机转速或者提示更换过滤网，且现有的检测洁净度的方式普遍采用人工定时检测。

上述中的现有技术方案存在以下缺陷：人工定时检测具有较大的滞后性，进而可能在一段作业时间内出现洁净度无法满足要求的情况，从而导致相关设备损耗或者产品不良率升高等问题。

发明内容

本发明的目的是提供一种基于FFU的无尘间洁净度闭环控制系统，能减少洁净度无法满足要求的情况的出现时间，避免产生相关设备损耗或者产品不良率升高的情况。

本发明的上述发明目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种基于FFU的无尘间洁净度闭环控制系统，包括：

粒子计数器，设置于无尘间内，用于检测无尘间空气中的粉尘颗粒浓度并输出颗粒浓度信号V1；

上位机，与粒子计数器电连接，用于接收颗粒浓度信号并与预设值进行对比，且当颗粒浓度信号与预设值产生正向差值时上位机输出控制信号V2；

控制器，设置于无尘间内，与上位机电连接且与风机电连接，用于接收并响应控制信号V2以控制风机转速升高。

通过采用上述技术方案，粒子计数器用于测量无尘间空气内的粉尘颗粒浓度，上位机接收颗粒浓度信号并与预设值进行对比，且当颗粒浓度信号与预设值产生正向差值时上位机输出控制信号V2，控制器接收到控制信号V2时控制风机转速升高，从而提高FFU的除尘效果，使无尘间内的粉尘颗粒浓度降至正常范围，且粒子计数器实时测量，控制器实时调节，从而减少洁净度无法满足要求的情况的出现时间，避免产生相关设备损耗或者产品不良率升高的情况。

本发明进一步设置为：所述无尘间各区域内均设置有粒子计数器，所述颗粒浓度信号V1对应的粉尘颗粒浓度等于多个所述粒子计数器输出的粒子浓度的平均值。

通过采用上述技术方案，颗粒浓度信号对应的粉尘颗粒浓度取多个粒子计数器输出的粒子浓度的平均值，以此减少外部因素对粒子计数器的干扰，减少误差，从而提高粒子浓度检测的准确度。

本发明进一步设置为：所述上位机上设置有用于检测异常情况的告警电路，所述告警电路包括设置于所述风机上的用于检测风机转速的电机转速检测器以及设置于所述上位机上的用于指示过滤网状态的指示灯。

通过采用上述技术方案，当控制系统中出现异常情况时告警电路触发告警，以此提示操作人员排除故障，减少洁净度无法满足要求的情况的出现时间，避免产生相关设备损耗或者产品不良率升高的情况；当风机的转速上升而粒子计数器检测的粒子浓度未产生明显变化时，判定为过滤网堵塞，此时指示灯亮起，以此提示操作人员及时更换过滤网，从而提高FFU的除尘效率。