[发明专利]一种均匀喷胶蚀刻系统

权利要求书

1.一种均匀喷胶蚀刻系统，包括盒状的槽体，在槽体相对的两侧板相对地开设有进料口和出料口，在槽体内平行于所述进料口与出料口连续设置有若干个输送滚轮，其特征在于，喷胶蚀刻系统还包括摇摆机构、若干个与摇摆机构相连的喷淋管和驱动马达，其中，摇摆机构和喷淋管均设置于所述若干个输送滚轮的上方，所述摇摆机构包括第一连接杆、水平传动杆和若干个竖直固定块，所述驱动马达的动力轴处连接有偏心轴，所述偏心轴与第一连接杆相连，所述水平连接杆的后端与所述第一连接杆通过销轴进行转动连接，每一竖直固定块均匀间隔的固定在所述水平连接杆下方，在所述喷胶蚀刻系统中设置有若干根喷淋管，每根喷管的一端可转动地穿设在所述槽体内的水平固定片上，另一端与一所述竖直固定块相连接，所述驱动马达带动所述水平连接杆往复转动，进而带动所述喷管转动。

2.根据权利要求1所述的均匀喷胶蚀刻系统，其特征在于，所述水平固定片靠近所述槽体的侧壁板设置，在所述水平固定片上均匀间隔地开设有若干个通孔，在所述通孔中设置有旋转轴承，对应于所述通孔位置在所述水平传动杆的下方固设所述竖直固定块，所述若干个喷管中的每根喷管一端固定在固定块处的旋转轴承中，另一端固定在所述竖直固定块的下方。

3.根据权利要求2所述的均匀喷胶蚀刻系统，其特征在于，所述水平传动杆平行于所述传送滚轮的轴线方向，所述喷管水平设置且垂直于所述传送滚轮的轴线方向。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的均匀喷胶蚀刻系统，其特征在于，在所述喷胶蚀刻系统中设置有至少两组摇摆机构，所述至少两组摇摆机构处所设置的喷管分别覆盖所述槽体的不同区域。

5.根据权利要求4所述的均匀喷胶蚀刻系统，其特征在于，每组摇摆机构处所设置的若干组喷管上分别开设有药液供给口，在喷管下方连续地设置有多个喷嘴。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的均匀喷胶蚀刻系统，其特征在于，所述至少两组摇摆机构中的第一连接杆同时通过偏心轴连接驱动马达。