[发明专利]一种保护气氛离子液体镀设备液体转移装置

权利要求书

1.一种保护气氛离子液体镀设备液体转移装置，其特征在于，包括泵（1）、三通阀（2）、柔性管（3）、存储罐（4）和密封离子液体的箱体（5），箱体（5）上固定连接有与箱体（5）内腔连通的连接管（6），连接管（6）位于箱体（5）内的内端口高于箱体（5）内离子液体的液面高度，所述连接管（6）的内端口可拆卸固定连接有能将内端口封闭的封盖（7），所述三通阀（2）位于箱体（5）外，且三通阀（2）的第一个连接口与连接管（6）连通，三通阀（2）的第二个连接口通过输气管（8）与箱体（5）连通，三通阀（2）的第三个连接口用于连接抽气装置，输气管（8）与箱体（5）的连通处高于箱体（5）内离子液体的液面高度；所述泵（1）设置在箱体（5）内，泵（1）上固定连接有输液软管（9），所述连接管（6）的外端口与柔性管（3）上端之间连通，所述存储罐（4）的开口处固定连接有控制存储罐（4）开口处通闭的阀门（10），该阀门（10）与柔性管（3）下端可拆卸密封固定连接；当封盖（7）与阀门（10）打开时，所述输液软管（9）能穿过连接管（6）、柔性管（3）伸入存储罐（4）内部；所述箱体（5）的侧壁上开有操作口（11），操作口（11）位置固定连接有将操作口（11）封闭的密封手套（12）。

2.根据权利要求1所述的一种保护气氛离子液体镀设备液体转移装置，其特征在于,所述连接管（6）竖直固定在箱体（5）下端上，连接管（6）的上端相对于箱体（5）内腔底面向上凸出，连接管（6）下端相对于箱体（5）下端面向下凸出。

3.根据权利要求1或2所述的一种保护气氛离子液体镀设备液体转移装置，其特征在于,所述连接管（6）上固定连接有用于检测连接管（6）内气压的气压表（13），该气压表（13）位于箱体（5）外。

4.根据权利要求1所述的一种保护气氛离子液体镀设备液体转移装置，其特征在于,所述阀门（10）与柔性管（3）之间固定设有密封圈。

5.根据权利要求4所述的一种保护气氛离子液体镀设备液体转移装置，其特征在于,所述阀门（10）与柔性管（3）下端之间螺接或卡接。

6.根据权利要求1所述的一种保护气氛离子液体镀设备液体转移装置，所述封盖（7）套在连接管（6）的内端口上，封盖（7）与连接管（6）之间设有密封圈。

7.根据权利要求1所述的一种保护气氛离子液体镀设备液体转移装置，其特征在于,所述泵（1）为蠕动泵（1）。

8.根据权利要求1所述的一种保护气氛离子液体镀设备液体转移装置，其特征在于,所述柔性管（3）为金属波纹管。