[发明专利]低沸点VCOs的吸附剂、滤材组、滤材箱及吸附剂的制作方法

说明书

本发明提供一种吸附剂，包括一硅溶胶及一分子筛，分子筛为一具有高硅铝比的分子筛；其中，硅溶胶混合分子筛以制作出一具有高硅铝比、高比表面积的吸附剂，吸附剂将被用以吸附一低沸点挥发性有机污染物的气体。

技术领域

本发明有关于一种吸附剂及吸附剂的制作方法，尤指一种应用在低沸点挥发性有机污染物上的吸附剂及吸附剂的制作方法。

背景技术

在半导体制程中，常需要使用特殊的气体或液体协助进行半导体组件的制作，然而，特殊气体或液体的使用容易产生一些挥发性有机物(Volatile Organic Cornpounds，VOCs)气体、酸性及碱性的气体。若无法提供有效的空气净化，这些气体将会因内部循环而回到半导体的无尘室内，将影响到制程的良率。

为了避免挥发性有机物、酸性及碱性的气体散布于无尘室中，于无尘室的气流循环系统中常会设置滤材组，利用滤材组对于气流循环系统中的挥发性有机物、酸性或碱性的气体进行过滤，以便提供干净的空气。

以往滤材组常以活性碳作为主要的吸附剂，利用活性碳吸附挥发性有机物、酸性或碱性的气体，以便挥发性有机物、酸性或碱性的气体不会存在于空气之中。

活性碳对于酸性、碱性及具高沸点有机物之气体(如甲苯)的吸附效果较佳、具有较大的吸附量，然而，对于低沸点有机污染物之气体(例如异丙醇、丙酮)的吸附效果则非常不好，其原因在于活性碳具有一非极性表面，对于具极性的低沸点有机污染物之气体的亲和力非常低，以致不易进行吸附。此外，活性碳本身为一可燃性材料，易受水气的侵入而影响吸附量，进而缩短了以活性碳作为主要吸附剂之滤材的使用时间。

发明内容

本发明的一目的，在于提出一种低沸点挥发性有机污染物的吸附剂，吸附剂为一硅溶胶混合分子筛的硅铝化合物，其具有多数量中孔洞、高硅铝比、高比表面积等等材料上的特质，以便有效吸附低沸点有机污染物的气体。

本发明的又一目的，在于提出一种低沸点挥发性有机污染物的吸附剂，吸附剂以分子筛作为主要材料，分子筛为一疏水性材料，不易受到水气的侵入，将可避免吸附剂的吸附量受到水气的影响。

本发明的又一目的，在于提出一种低沸点挥发性有机污染物的吸附剂的制作方法，其将硅溶胶及分子筛进行搅拌混合、烘干、压制成固化及锻烧等等处理以制作出一吸附剂原物料，而后吸附剂原物料在经过压碎及过筛等等处理，即可取得颗粒状的吸附剂。

为达成上述目的，本发明提供一种吸附剂，包括：一硅溶胶；及一分子筛，为一具有高硅铝比的分子筛；其中，将硅溶胶与分子筛混合一起以制作出一具有高硅铝比、高比表面积的吸附剂，吸附剂用以吸附一低沸点挥发性有机污染物的气体。

本发明一实施例中，分子筛与硅溶胶的质量比为1∶0.7-1。

本发明一实施例中，分子筛为一Y型分子筛或一ZSM型分子筛，Y型分子筛为一NaY分子筛、HY分子筛或USY分子筛，ZSM型分子筛为一ZSM5分子筛。

本发明一实施例中，硅溶胶为一二氧化硅及氧化钠的组成物。

本发明一实施例中，分子筛的硅铝比为2.8-50，而分子筛的比表面积为大于等于450m²/g。

本发明一实施例中，低沸点挥发性有机污染物为异丙醇、二氯甲烷、二氯乙烯、三氯乙烯或丙酮。

本发明提供一种吸附剂的制作方法，步骤包括：将一分子筛及一硅溶胶以一质量比在一容器中混合搅拌；揉捻及烘干分子筛与硅溶胶的混合物；对于揉捻及烘干后的分子筛与硅溶胶的混合物进行挤压、压锭或造粒的动作以制作出一具备分子筛与硅溶胶成份的固型化形体；锻烧固型化形体以制作出一吸附剂原物料；及压碎吸附剂原物料以制作出多数量颗粒状的吸附剂。

本发明一实施例中，分子筛及硅溶胶混合搅拌的过程中进一步混合有一定量的有机酸溶液。