[发明专利]一种真空隔膜阀

权利要求书

1.一种真空隔膜阀，包括阀体，在阀体上设置有进口和出口，在所述阀体内安装有膜片和运动机构，所述运动机构带动膜片运动实现阀通断，其特征在于：所述运动机构包括连接板、连接组件、密闭伸缩装置及肘节组件，所述连接板通过连接组件与所述膜片连接，所述肘节组件的两端铰接点分别与阀体和连接板连接，所述肘节组件的中间铰接点与密闭伸缩装置连接，所述密闭伸缩装置与负压管路连接，所述密闭伸缩装置的伸缩带动肘节组件的屈伸运动进而带动连接板相对阀体上下移动。

2.根据权利要求1所述的一种真空隔膜阀，其特征在于：所述肘节组件包括两组，对称连接在密闭伸缩装置的两侧。

3.根据权利要求1所述的一种真空隔膜阀，其特征在于：所述密闭伸缩装置包括由伸缩筒围成的密闭腔室，所述密闭腔室连接有用于与负压管路连接的负压气管接头，所述密闭腔室安装有基座和弹簧，所述弹簧的一端与基座连接，另一端与伸缩筒的筒壁连接，所述伸缩筒的外侧与所述肘节组件的中间铰接点连接。

4.根据权利要求3所述的一种真空隔膜阀，其特征在于：所述弹簧为两个，分设在基座的两侧，所述伸缩筒的两侧分别与两组肘节组件的中间铰接点连接。

5.根据权利要求3或4所述的一种真空隔膜阀，其特征在于：所述伸缩筒由皮囊及顶板围成，所述皮囊为筒形包围在顶板的外周，所述顶板的内侧与弹簧连接，所述顶板的外侧与所述肘节组件的中间铰接点连接。

6.根据权利要求5所述的一种真空隔膜阀，其特征在于：所述皮囊分成两段，分设在基座的两侧形成两个独立的密闭腔室，负压气管接头为三通，两路接头分别与两个密闭腔室连通。

7.根据权利要求5所述的一种真空隔膜阀，其特征在于：在所述基座上设置有导向柱，所述顶板上与所述导向柱对向设置有导向筒，所述弹簧一端套装在所述导向柱的外侧，另一端安装在所述导向筒内部，压缩时所述导向柱叠置在所述导向筒内。

8.根据权利要求1所述的一种真空隔膜阀，其特征在于：在所述阀体上对称设置有限位滑槽，连接板的两侧分别插入限位滑槽内，并沿限位滑槽滑动。

9.根据权利要求1所述的一种真空隔膜阀，其特征在于：所述连接组件包括阀板，所述阀板与连接板固定连接，所述阀板通过连接杆与膜片固定连接，在所述阀板朝向膜片的表面上设置有向外凸出的定位柱，在所述定位柱上具有凹腔，在所述阀底座上对应所述凹腔设置有与所述凹腔形状相匹配的凸起，所述膜片位于定位柱与凸起之间。

10.根据权利要求1所述的一种真空隔膜阀，其特征在于：所述阀体为分体结构，由壳体和阀底座组成，壳体和阀底座之间通过紧固件固定连接。