[发明专利]真空无氧固化炉

说明书

本发明公开了一种真空无氧固化炉，包括有炉体、炉门、炉膛、控制器、真空系统、风冷降温系统、温度控制系统、过风通道、多个进风口、出风口、托板、测温元件、加热器、触摸屏、蜂鸣器和指示灯；真空系统包括有真空泵、充气泵、真空度检测元件、氧含量分析仪和电磁阀；风冷降温系统包括有空气放大器；温度控制系统包括有温控仪。本发明结构简单，成本低，实现了固化炉的自动化控制，避免了出现超温、炉膛变形、加热不均、气氛不足等问题，保证了固化炉的正常工作和工作效率。

技术领域

本发明涉及电子技术领域，具体是一种真空无氧固化炉。

背景技术

在电子半导体产品生产领域，固化炉是常见的生产加工设备之一。现有用于半导体圆片PR胶、排胶固化的固化炉，存在以下比较突出的问题：

1、固化炉的工作温度需要保持在400℃-450℃，使用过程中一旦出现超温的现象，一方面会损坏其内的工件，从而影响到产品质量，产生次品，甚至是废品；另一方面会损坏炉膛，导致炉膛发生变形，从而引发安全隐患，影响到固化炉的正常工作。

2、现有的固化炉一般在其内部炉膛外壁的四周采用多点布置的方式来安装加热管，使得炉膛内部能够均匀受热，以达到均匀加热的目的；但是这种多点布置加热管的方式使得炉膛内部温升较慢，从而影响到固化炉的工作效率。

3、固化炉在正常运行时首先需要对其内部炉膛进行抽真空处理，使得炉膛内部成为“真空”，以营造无氧的气氛；然而，这里“真空”并不是绝对真空，需要保证炉膛的内部压力维持在一个合理的范围内，因此，需要在抽真空后需要回填非氧气的气体，一般为氮气，这就需要设计合理的真空系统。

4、固化炉在结束工作后，需要进行降温，而现有的固化炉要么没有配备有效的降温措施，要么采用水冷降温方式，但结构相对复杂，成本较高。

发明内容

本发明的目的是提供一种真空无氧固化炉，结构简单，成本低，来实现固化炉的自动化控制，以避免出现超温、炉膛变形、加热不均、气氛不足等问题，以保证固化炉的正常工作和工作效率。

本发明的技术方案如下：

一种真空无氧固化炉，包括有炉体、炉门、炉膛、控制器、真空系统、风冷降温系统和温度控制系统，其特征在于：所述的炉膛设置于所述炉体内，且炉膛的上、下侧和后侧与所述炉体的内壁之间均具有间隙并形成过风通道，所述炉体的上、下侧均设有与所述过风通道相通的多个进风口，炉体的后侧设有出风口；

所述炉膛的内部分别安装有托板和测温元件，炉膛的外部安装有环绕在其四周的加热器，炉膛的一侧分别设有抽真空接口、充气接口、真空度检测接口和氧含量检测接口；

所述的真空系统包括有真空泵、充气泵、真空度检测元件和氧含量分析仪，所述的真空泵和充气泵通过管路分别对应与所述抽真空接口和充气接口相连接，所述充气泵与所述充气接口相连接的管路上安装有电磁阀，所述的真空度检测元件与所述真空度检测接口相连接，其探头延伸到所述炉膛的内部，所述氧含量分析仪的探头与所述氧含量检测接口相连接；所述的控制器一方面分别与所述真空度检测元件和氧含量分析仪相连接，另一方面与所述电磁阀相连接，并分别通过第一、二固态继电器对应与所述真空泵和充气泵相连接；

所述的风冷降温系统包括有与所述出风口相连接的空气放大器，所述的控制器通过第三固态继电器与所述空气放大器相连接；

所述的温度控制系统包括有与所述控制器相连接的温控仪，所述的温控仪一方面与所述测温元件相连接，另一方面通过第四固态继电器与所述加热器相连接；

所述炉体的一侧安装有操作面板，所述的操作面板上分别安装有触摸屏、蜂鸣器和指示灯，所述的触摸屏与所述控制器相连接，所述温控仪的报警信号输出端分别与所述的蜂鸣器和指示灯相连接。