[发明专利]一种气体X射线像增强器

权利要求书

1.一种气体X射线像增强器，包括：

读出阳极板(1)；

微网电极结构(2)，由n层微网电极(21)通过支撑结构(3)级联而成，所述支撑结构(3)固定在所述读出阳极板(1)上，其中，所述支撑结构(3)位于所述微网电极结构(2)的两端，上一层微网电极(21)的微孔与其下一层微网电极(21)的微孔错位，所述微网电极(21)之间及所述微网电极(21)与所述读出阳极板(1)之间形成气体雪崩放大区，n为大于等于2的整数，所述微网电极(21)的光学透过率为30％-60％；

所述微网电极(21)的厚度为10-40微米，所述雪崩放大区的间距为50-500微米；

其中，远离所述读出阳极板(1)的气体雪崩放大区的间距大于靠近所述读出阳极板(1)的气体雪崩放大区的间距；

入射窗(4)，其形成于所述微网电极结构(2)上方，通过外壳(6)与所述读出阳极板(1)相连构成密封结构，将所述微网电极结构(2)及所述支撑结构(3)密封；

漂移阴极(5)，其形成于所述入射窗(4)的内表面；

其中，所述密封结构内部填充有用于电子漂移和雪崩倍增的工作气体。

2.根据权利要求1所述的气体X射线像增强器，其中，所述微网电极(21)表面施加有大于25N/cm的张力。

3.根据权利要求1所述的气体X射线像增强器，其中，所述工作气体为惰性气体与负电性气体的混合气体。

4.根据权利要求1所述的气体X射线像增强器，其中，所述微网电极(21)与所述读出阳极板(1)之间形成气体雪崩放大区的间距为50-150微米；其它气体雪崩放大区的间距为300-500微米。

5.根据权利要求1所述的气体X射线像增强器，所述入射窗(4)的材料为使X射线通过的薄膜材料。

6.根据权利要求1所述的气体X射线像增强器，其中，所述读出阳极板(1)采用透光玻璃，其上形成有导电薄膜。

7.根据权利要求3所述的气体X射线像增强器，其中，所述工作气体为氩气、氙气和氪气中的至少一种与四氟化碳和甲烷中的至少一种的混合气体。