[发明专利]用于振动感测装置的振动组件以及振动感测装置

权利要求书

1.一种用于振动感测装置的振动组件，其特征在于：包括：

环形支撑部，所述环形支撑部形成中空结构；以及

压力产生装置，所述压力产生装置包括：

弹性元件，所述弹性元件覆盖在所述环形支撑部的中空位置，所述弹性元件的外边缘与所述环形支撑部连接；和

质量元件，所述质量元件包括压力探测装置，所述质量元件被设置在所述弹性元件上，并能随所述弹性元件一起移动，所述压力探测装置的感测部曝露于所述弹性元件的一侧，并与相对侧隔离。

2.根据权利要求1所述的振动组件，其特征在于：所述弹性元件为弹性膜片或者阻尼胶。

3.根据权利要求1所述的振动组件，其特征在于：所述质量元件还包括基板，所述压力探测装置被固定在所述基板上，所述基板贴合在所述连接部上。

4.根据权利要求3所述的振动组件，其特征在于：所述质量元件还包括信号放大器，所述信号放大器被设置在所述基板上，所述信号放大器与所述压力探测装置连接。

5.根据权利要求3或4所述的振动组件，其特征在于：所述基板为PCB板。

6.根据权利要求1所述的振动组件，其特征在于：还包括支撑结构，所述支撑结构的一端与所述质量元件连接，另一端与所述环形支撑部的内壁连接，所述弹性元件围绕所述质量元件设置。

7.根据权利要求6所述的振动组件，其特征在于：所述压力探测装置通过设置在所述支撑结构上的导体与外部电路连接。

8.根据权利要求6或7所述的振动组件，其特征在于：所述环形支撑部为矩形环状，所述支撑结构位于环形支撑部的较短的边上。

9.一种振动感测装置，其特征在于：包括上壳、下壳和如权利要求1-8中的任意一项所述的振动组件，所述上壳和所述下壳分别密封连接在所述环形支撑部的相对的两侧，所述上壳与所述质量元件之间形成密闭的第一腔室，所述下壳与所述质量元件之间形成密闭的第二腔室，所述压力探测装置的感测部曝露于所述第一腔室或者第二腔室。

10.根据权利要求9所述的振动感测装置，其特征在于：在所述上壳和/或所述下壳的外表面设置有焊盘，所述焊盘通过设置在壳壁内的导体与所述压力探测装置连接。