[发明专利]一种基于银纳米砖阵列的双通道红绿滤光片有效

专利信息
申请号: 201910691343.X 申请日: 2019-07-29
公开(公告)号: CN110488484B 公开(公告)日: 2021-08-03
发明(设计)人: 李子乐;李嘉鑫;戴琦;邓娟;梁聪玲;任仁远;郑国兴 申请(专利权)人: 武汉大学
主分类号: G02B26/00 分类号: G02B26/00;G02B1/00
代理公司: 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 代理人: 李炜
地址: 430072 湖*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 一种 基于 纳米 阵列 双通道 滤光
【权利要求书】:

1.一种基于银纳米砖阵列的双通道红绿滤光片,其特征在于:

包括衬底;

衬底上设置有周期性排列的纳米砖阵列;

所述纳米砖为长方体结构,长宽高均为亚波长尺寸;纳米砖参数长L=140nm,宽W=85nm,厚H=70nm,CS=340nm;

所述纳米砖阵列长轴经线偏振光入射后反射红光,短轴经线偏振光入射后反射绿光;

所述纳米砖阵列长轴经偏振光入射时,水平方向转动滤光片90°,反射光的从红光变成绿光;

所述双通道红绿滤光片的设计方法,包括以下步骤:

(1)采用现有的CST STUDIO SUITE电磁仿真工具,在工作波长下优化银纳米砖单元的结构,使得入射线偏光沿纳米砖长轴偏振时,红光反射效率超过90%;入射线偏光沿纳米砖短轴偏振时,绿光反射效率超过70%;通过转动本纳米砖阵列结构,可以实现反射光从红光到绿光的变化;

(2)经过第一步,即可确定单个银纳米砖单元的结构,根据单个银纳米砖单元确定银纳米砖阵列结构;

(3)根据第二步确定的银纳米砖阵列结构,采用光刻工艺制备双通道动态红绿滤光片。

2.根据权利要求1所述的滤光片,其特征在于:所述纳米砖为银纳米砖。

3.根据权利要求1所述的滤光片,其特征在于:所述衬底为石英玻璃。

4.根据权利要求1所述的滤光片,其特征在于:其调控参数包括纳米砖的长宽高以及纳米砖块的间距。

5.根据权利要求4所述的滤光片,其特征在于:所述调控参数通过电磁仿真法进行优化。

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