[发明专利]一种基于银纳米砖阵列的双通道红绿滤光片有效
| 申请号: | 201910691343.X | 申请日: | 2019-07-29 | 
| 公开(公告)号: | CN110488484B | 公开(公告)日: | 2021-08-03 | 
| 发明(设计)人: | 李子乐;李嘉鑫;戴琦;邓娟;梁聪玲;任仁远;郑国兴 | 申请(专利权)人: | 武汉大学 | 
| 主分类号: | G02B26/00 | 分类号: | G02B26/00;G02B1/00 | 
| 代理公司: | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人: | 李炜 | 
| 地址: | 430072 湖*** | 国省代码: | 湖北;42 | 
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 基于 纳米 阵列 双通道 滤光 | ||
1.一种基于银纳米砖阵列的双通道红绿滤光片,其特征在于:
包括衬底;
衬底上设置有周期性排列的纳米砖阵列;
所述纳米砖为长方体结构,长宽高均为亚波长尺寸;纳米砖参数长L=140nm,宽W=85nm,厚H=70nm,CS=340nm;
所述纳米砖阵列长轴经线偏振光入射后反射红光,短轴经线偏振光入射后反射绿光;
所述纳米砖阵列长轴经偏振光入射时,水平方向转动滤光片90°,反射光的从红光变成绿光;
所述双通道红绿滤光片的设计方法,包括以下步骤:
(1)采用现有的CST STUDIO SUITE电磁仿真工具,在工作波长下优化银纳米砖单元的结构,使得入射线偏光沿纳米砖长轴偏振时,红光反射效率超过90%;入射线偏光沿纳米砖短轴偏振时,绿光反射效率超过70%;通过转动本纳米砖阵列结构,可以实现反射光从红光到绿光的变化;
(2)经过第一步,即可确定单个银纳米砖单元的结构,根据单个银纳米砖单元确定银纳米砖阵列结构;
(3)根据第二步确定的银纳米砖阵列结构,采用光刻工艺制备双通道动态红绿滤光片。
2.根据权利要求1所述的滤光片,其特征在于:所述纳米砖为银纳米砖。
3.根据权利要求1所述的滤光片,其特征在于:所述衬底为石英玻璃。
4.根据权利要求1所述的滤光片,其特征在于:其调控参数包括纳米砖的长宽高以及纳米砖块的间距。
5.根据权利要求4所述的滤光片,其特征在于:所述调控参数通过电磁仿真法进行优化。
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