[发明专利]角度板检测治具、系统和检测方法

说明书

本发明公开了一种角度板检测治具、系统和检测方法，所述角度板检测治具，包括：板材，以及沿所述板材边缘开设的多个治具孔，分别对应于被测角度板套件的各角度板；其中，在与所述被测角度板套件的底板相平行的方向所述治具孔的尺寸和与之对应的角度板的尺寸相同；在与所述被测角度板套件的底板相垂直的方向所述治具孔的尺寸和与之对应的角度板的尺寸相同；相邻两个治具孔之间的距离，与对应的两个相邻的角度板之间的距离相一致。应用本发明能够直观、精准、快捷地判定角度板是否满足工艺要求。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，特别是指一种角度板检测治具、系统和检测方法。

背景技术

OLED显示器件包括阴极层、有机材料功能层以及阳极层等，其中，有机材料功能层一般采用电阻加热法蒸镀法制备。现有的蒸镀成膜技术，在高真空蒸镀系统中，放置在蒸镀容器(如坩埚)中的蒸镀材料经气化或升华后，通过喷嘴将蒸镀材料喷出；喷嘴周围设置有用于限定蒸镀材料从喷嘴射出的运行方向和蒸镀区域的角度板，以使得蒸镀材料蒸镀到基板(如玻璃)上的相应区域内。

为适应不同的蒸镀角度的要求，简化要求改变时频繁更换角度板的操作过程，现有技术中采用一种角度板套件，如图1所示，包括：底板101，以及至少两个竖直固定于底板101上的角度板102，从而形成插排式结构的角度板套件。

角度板是确保蒸镀工艺中蒸发角度的关键部件，其通过改变本身高度、宽度来控制材料的蒸发角度；由于工艺的特殊性，角度板本身具有易变形、种类多的特点，但为了确保工艺的稳定性，就务必需要对角度板的角度进行管控。也就是说，为了确保工艺的稳定性，需要对角度板的角度进行测量管控，即每次使用前通过角度尺对每个点位逐个进行测量，依据工艺理论要求，记录每个点位的角度数据，数据符合要求的角度板才可投入使用。

例如，如图1所示的角度板套件中，竖直固定于底板101上的角度板有4个，分别标记为Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ、Ⅳ；图1中标记①、②、③的位置处为蒸镀源的喷嘴设置处；在对图1所示的角度板套件的角度进行检测时，需完成角度θ1、θ2、θ3的测量。现有对角度板套件的角度的具体检测方式为，用角度尺，人工的完成角度θ1、θ2、θ3的测量，从而判定角度板I、Ⅱ、Ⅲ、Ⅳ是否满足工艺要求。

目前的检测方式存在以下缺点：

1、由于工艺要求，角度板其开口、高度、宽度复杂多变，用角度尺的测量条件有限，同时管理复杂。

2、用角度尺进行测量，由于人为读数、测量方法的问题导致测量误差较大。

3、由于角度板的数量及种类多，用角度尺逐个进行测量，可操作性较差，效率低。

4、角度板厚度薄，易变形，角度尺无法直观的监控到变形问题。

综上，采用现有的对角度板套件的角度检测的方法，判定角度板是否满足工艺要求时，存在误差大、可操作性较差、效率低等问题，从而严重影响产品品质。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的在于提出一种角度板检测治具、系统和检测方法，能够直观、精准、快捷地判定角度板是否满足工艺要求。

基于上述目的本发明提供一种角度板检测治具，包括：板材，以及沿所述板材边缘开设的多个治具孔，分别对应于被测角度板套件的各角度板；

其中，在与所述被测角度板套件的底板相平行的方向所述治具孔的尺寸和与之对应的角度板的尺寸相同；在与所述被测角度板套件的底板相垂直的方向所述治具孔的尺寸和与之对应的角度板的尺寸相同；相邻两个治具孔之间的距离，与对应的两个相邻的角度板之间的距离相一致。

进一步，所述角度板检测治具还包括：

在所述治具孔朝向其对应角度板的顶部一侧设置的至少两个距离检测仪，用于测量至所述角度板顶部的距离；