[发明专利]一种高精度的高效膜厚测量仪

说明书

一种高精度的高效膜厚测量仪，它涉及薄膜测量技术领域。它包含支架，所述支架的上端设置有工作台，所述工作台上竖直设置有若干个立柱，所述立柱的顶端设置有顶板，立柱上滑动连接有滑动板，所述滑动板的下端面上设置有LED光源，所述LED光源下方的工作台上设置有光照传感器，所述顶板的内部设置有控制电路板及电源模块，顶板的前端面上设置有液晶显示屏，所述液晶显示屏的一侧设置有控制按键，所述控制电路板分别与LED光源、光照传感器、电源模块、液晶显示屏及控制按键电性连接。它结构简单，设计合理，能够根据待测量薄膜的不同类型进行LED光源与光照传感器之间的距离调整，并能够对薄膜进行非接触检测，有效提高测量效率和测量精度。

技术领域

本发明涉及薄膜测量技术领域，具体涉及一种高精度的高效膜厚测量仪。

背景技术

近年来，薄膜行业的发展随着科学技术的发展而发生着巨大的变化，薄膜产品的应用变得十分广泛，应用范围涵盖了工业、农业、电子产品行业以及宇航等领域，全球对于薄膜的需求呈现出逐步增长的趋势。目前国内已有几千条薄膜生产设备线，然而在大多数薄膜生产中都没有有效的薄膜厚度检测装置，如热敏材料的涂层厚度仍然使用传统接触式的测量方法—千分尺，这对于厚度极薄的薄膜就可能会产生较大的误差，造成测量精度偏低，从而影响器件的品质，所以对于薄膜品质要求较高的行业来说就无法应用这种测量方式。因此需要对薄膜品质进行必要的检测，厚度测量是薄膜品质检测的重要内容之一。

目前的膜厚测量仪多采用接触式测量，其测量的精度较低，同时非接触式膜厚测量仪无法根据不同膜厚进行有效的测量。

发明内容

本发明的目的在于针对现有技术的缺陷和不足，提供一种高精度的高效膜厚测量仪，它能解决目前传统的膜厚测量仪多采用接触式测量，其测量的精度较低，同时非接触式膜厚测量仪无法根据不同膜厚进行有效测量的缺陷。

为实现上述目的，本发明采用以下技术方案是：它包含支架、工作台、立柱、顶板、滑动板、LED光源、光照传感器、控制电路板、电源模块、液晶显示屏、控制按键，所述支架的上端设置有工作台，所述工作台上竖直设置有若干个立柱，所述立柱的顶端设置有顶板，立柱上滑动连接有滑动板，所述滑动板的下端面上设置有LED光源，所述LED光源下方的工作台上设置有光照传感器，所述顶板的内部设置有控制电路板及电源模块，顶板的前端面上设置有液晶显示屏，所述液晶显示屏的一侧设置有控制按键，所述控制电路板分别与LED光源、光照传感器、电源模块、液晶显示屏及控制按键电性连接。

进一步的，所述立柱设置有四个，四个立柱上均设置有滑轨，所述滑动板与立柱接触的一端设置有滑块，所述滑块与所述滑轨配合滑动连接，所述滑轨上设置有直线电机，所述直线电机的输出端与滑块固定连接。

进一步的，所述直线电机与直线电机控制开关电性连接，所述直线电机控制开关设置在顶板的前端面上。

进一步的，所述滑动板的下端面设置有第一透明罩，所述第一透明罩将LED光源包裹在其内部。

进一步的，所述工作台的上端面设置有第二透明罩，所述第二透明罩将光照传感器包裹在其内部。

进一步的，所述支架的底端设置有万向轮，所述万向轮上设置有刹车装置。

本发明的工作原理：使用时，将待测量的膜放入工作台上LED光源与光照传感器之间，通过直线电机控制开关控制直线电机的运动，使得滑动板带动LED光源上下移动能够根据不同膜的类型进行LED光源与光照传感器相对位置的调整，测量时，LED光源光照透射过待检测的薄膜，照射到光照传感器7上的光敏二极管，根据入射的光强度不同光敏二极管两端的光电流大小发生变化，再经运算放大器将光电流转换成电压，完成光信号到电信号的转换，电压信号经ADC转换成数字量，再进行光照强度的计算和通过I2C写入单片机做后续的数据处理，最终测量程序执行结果通过液晶显示屏进行显示，液晶显示屏还用于显示初始光照度，透射光照度，衰减量，厚度值等信息。