[发明专利]一种用于薄膜盘面绷紧的机构有效

专利信息
申请号: 201910634051.2 申请日: 2019-07-15
公开(公告)号: CN110531588B 公开(公告)日: 2020-12-04
发明(设计)人: 王皓;望凯力;王广平;吕嗣鸿;曹宇 申请(专利权)人: 电子科技大学
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 611731 四川省成*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 薄膜 盘面 绷紧 机构
【权利要求书】:

1.一种用于薄膜盘面绷紧的机构,其特征在于:该机构包括PI薄膜(101)、上封盖(102)、饼盘(103)、下托盘(104)、驱动推柱(105),所述的饼盘(103)由六块结构完全相同的扇形体(301、302、303、304、305、306)组成,每个扇形体包括扇形盘体(401)、导向滑槽(402)以及PI薄膜粘接凸台区域(403),所述的下托盘(104)包括圆形盘体(501)、导向滑块(502)以及弹性柱体(503),所述的薄膜(101)与扇形体(301、302、303、304、305、306)的薄膜粘接凸台区域(403)连接,所述下托盘(104)的导向滑块(502)与上封盖(102)相连接,所述的扇形体(301、302、303、304、305、306)的导向滑槽(402)与所述下托盘(104)通过导向滑块(502)和弹性柱体(503)连接,所述驱动推柱(105)顶部为的圆台,圆台斜角与所述扇形体(301、302、303、304、305、306)顶端环切面斜角一致。

2.根据权利要求1所述的一种用于薄膜盘面绷紧的机构,其特征在于:所述扇形体(301、302、303、304、305、306)的薄膜粘接凸台区域(403)为扇形环状,且相对于扇形盘体(401)上表面具有一定的凸起高度,扇形盘体(401)几何中心有导向滑槽(402),扇形体(301、302、303、304、305、306)的顶角具有环切面斜角,顶角角度为60度。

3.根据权利要求1所述一种用于薄膜盘面绷紧的机构,其特征在于:所述的下托盘(104)为环状,下托盘(104)上表面周向分布6个等角度的导向滑块(502),导向滑块(502)外端面与弹性柱体(503)相连接。

4.根据权利要求1所述的一种用于薄膜盘面绷紧的机构,其特征在于:通过所述上封盖(102)和下托盘(104)对所述导向滑槽(402)施加轴向约束,通过所述导向滑槽(402)和导向滑快(502)对所述扇形体(301、302、303、304、305、306)施加转动约束,通过所述弹性柱体(503)对所述扇形体(301、302、303、304、305、306)施加初始预紧力,确保六块结构完全相同的扇形体(301、302、303、304、305、306)的初始位置一致。

5.根据权利要求2所述的一种用于薄膜盘面绷紧的机构,其特征在于:通过所述驱动推柱(105)的轴向移动,推动六个所述扇形体(301、302、303、304、305、306)沿径向同步远离圆心,在回程时,通过所述弹性柱体(503)施加回程力,确保六个扇形体(301、302、303、304、305、306)同步回归初始点。

6.根据权利要求1所述的一种用于薄膜盘面绷紧的机构,其特征在于:所述下托盘(104)的导向滑块(502)与上封盖(102)由螺栓连接,便于拆卸,修理和装配。

7.根据权利要求3所述的一种用于薄膜盘面绷紧的机构,其特征在于:所述上封盖(102)的下表面和所述薄膜粘接凸台区域(403)上表面在同一平面。

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