[发明专利]一种螺栓自定位方法

权利要求书

1.一种螺栓自定位方法，其特征在于，通过特定的一组螺栓进行厚度比例调节，并根据调节前后膜厚的变化来对螺栓估计位置进行调整，其包括如下步骤：

(S1)系统初始化，设定周期、阈值；

(S2)从测厚仪采集薄膜剖面厚度曲线数据，计算曲线对应的厚度值；

(S3)如果已有定位数据则转S4，否则进行初始定位，将各螺栓均匀分布在曲线横轴上，更新螺栓定位位置集合和标记有模头螺栓位置的薄膜剖面厚度值集合，之后转S7；

(S4)如果不是检索周期则转S5，否则进行螺栓检索，搜索所有厚度偏差正负异号的相邻螺栓组合，并选择其中一组标记为(Mj1，Mj2)作为待处理螺栓，由调节部通过控制模块对该两个螺栓进行按各自厚度偏差的比例控制，同时记录两个螺栓之间厚度偏差为零的点的横坐标XP，之后转S7；

(S5)如果不是判别周期，则转S6，否则进行螺栓位置估计偏差的判断和调节，再次检索螺栓(Mj1，Mj2)之间的零偏差点，记其横坐标为XQ；比较XQ和XP，如果两者差值在设定阈值范围内，则转S8；若XQ小于XP则将所有螺栓右移，否则将所有螺栓左移，更新螺栓定位位置集合和标记有模头螺栓位置的薄膜剖面厚度值集合，之后转S7；

(S6)定位不作处理，由控制模块对各螺栓进行PID调节来实现膜厚一致性控制，转S7；

(S7)等待下一周期到来，转S2；

(S8)定位完毕，结束。

2.根据权利要求1所述的一种螺栓自定位方法，其特征在于，所述螺栓位置估计偏差d_M的调节按如下方法进行：d_M＝η·d_zf，其中，d_zf为比例控制前后零偏差点位移量，系数η动态取值，其初始值为区间(1/3，1/2)内的一个数，之后若发现d_zf的方向发生改变时η′＝1/2η，否则η′＝1.1η，η′为更新后的系数。

3.根据权利要求1所述的一种螺栓自定位方法，其特征在于，所述螺栓位置估计偏差d_M的调节按如下方法进行：d_M＝ρ·x，ρ为区间[0.8，1]内的一个数，x为按如下方程的正数解：

Δ·x²+x(Δ·d-d·T-2·Δ·L)+2·T·L·d-2·Δ·L·d＝0

其中，T和Δ分别为比例控制前零偏差点两侧对称位置上的薄膜厚度偏差和厚度调节量，L为该位置与零偏差点的距离，d为比例控制前后零偏差点位移量。