[发明专利]电磁波屏蔽膜及其制造方法、以及带有电磁波屏蔽膜的印刷线路板及其制造方法

权利要求书

1.一种电磁波屏蔽膜，其具有绝缘树脂层、和与所述绝缘树脂层邻接的包含金属的导电层，

所述绝缘树脂层含有聚酰亚胺，

所述聚酰亚胺包含下述式(1)所示的重复结构单元和下述式(2)所示的重复结构单元，下述式(1)的重复结构单元相对于下述式(1)的重复结构单元与下述式(2)的重复结构单元的合计的含量比为20～70摩尔％，并且在末端具有碳数5～14的链状脂肪族基团，

R₁为包含至少1个脂环式烃结构的碳数6～22的2价基团，R₂为碳数5～16的2价的链状脂肪族基团，X₁和X₂分别独立地为包含至少1个芳香环的碳数6～22的4价基团。

2.根据权利要求1所述的电磁波屏蔽膜，其中，所述式(1)的R₁为下述式(R1-1)或(R1-2)所示的2价基团，

m₁₁和m₁₂分别独立地为0～2的整数，m₁₃～m₁₅分别独立地为0～2的整数。

3.根据权利要求1或2所述的电磁波屏蔽膜，其中，所述式(1)的R₁为下述式(R1-3)所示的2价基团，

4.根据权利要求1～3中任一项所述的电磁波屏蔽膜，其中，所述式(2)的R₂为碳数5～12的亚烷基。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的电磁波屏蔽膜，其中，所述式(1)的X₁和所述式(2)的X₂分别独立地为下述式(X-1)～(X-4)中的任一者所述的4价基团，

R₁₁～R₁₈分别独立地为碳数1～4的烷基，p₁₁～p₁₃分别独立地为0～2的整数，p₁₄、p₁₅、p₁₆和p₁₈分别独立地为0～3的整数，p₁₇为0～4的整数，L₁₁～L₁₃分别独立地为单键、醚基、羰基或碳数1～4的亚烷基。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的电磁波屏蔽膜，其中，所述聚酰亚胺还包含下述式(3)所示的重复结构单元，下述式(3)的重复结构单元相对于所述式(1)的重复结构单元与所述式(2)的重复结构单元的合计的含量比为25摩尔％以下，

R₃为包含至少1个芳香环的碳数6～22的2价基团，X₃为包含至少1个芳香环的碳数6～22的4价基团。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的电磁波屏蔽膜，其中，所述碳数5～14的链状脂肪族基团的含量相对于所述聚酰亚胺中的全部重复结构单元的合计100摩尔％为0.01摩尔％以上且10摩尔％以下。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的电磁波屏蔽膜，其中，所述绝缘树脂层的厚度为3μm以上且10μm以下。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的电磁波屏蔽膜，其中，所述导电层为金属蒸镀层。

10.根据权利要求9所述的电磁波屏蔽膜，其中，所述金属蒸镀层为银蒸镀层或铜蒸镀层。

11.根据权利要求1～10中任一项所述的电磁波屏蔽膜，其中，在所述绝缘树脂层的与所述导电层相反一面侧还具有载体膜。