[发明专利]一种扫描致动器及光纤扫描器

权利要求书

1.一种扫描致动器，其特征在于，包括依次连接的第一致动部、隔离部和第二致动部，第一致动部和第二致动部的两端均分别为固定端和自由端，第二致动部的固定端和第一致动部的自由端分别与隔离部固定连接；所述的隔离部的弯曲刚度高于第一致动部的弯曲刚度和第二致动部的弯曲刚度，以避免因隔离部的形变而产生不易控制和/或杂乱的振动分量。

2.如权利要求1所述的一种扫描致动器，其特征在于，所述的第一致动部的自由端相对于其固定端沿垂直于第一方向的至少一个方向振动，第二致动部的自由端相对于其固定端沿垂直于所述第一方向的至少一个方向振动，第一致动部的自由端相对于其固定端的振动方向与第二致动部的自由端相对于其固定端的振动方向不同。

3.如权利要求2所述的一种扫描致动器，其特征在于，所述的隔离部的弹性模量大于第一致动部的弹性模量和第二致动部的弹性模量，且隔离部任意位置被垂直于第一方向的平面截得的截面面积不小于第一致动部的自由端被垂直于第一方向的平面截得的截面面积和第二致动部的固定端被垂直于第一方向的平面截得的截面面积。

4.如权利要求2所述的一种扫描致动器，其特征在于，所述的隔离部的弹性模量不小于第一致动部的弹性模量和第二致动部的弹性模量，且隔离部任意位置被垂直于第一方向的平面截得的截面面积大于第一致动部的自由端被垂直于第一方向的平面截得的截面面积和第二致动部的固定端被垂直于第一方向的平面截得的截面面积。

5.如权利要求1-4中任意一项所述的一种扫描致动器，其特征在于，所述的隔离部的外部设置有用于提高弯曲刚度的附加件。

6.如权利要求5中任意一项所述的一种扫描致动器，其特征在于，所述的附加件为紧密套装于隔离部外部的套管。

7.如权利要求6所述的一种扫描致动器，其特征在于，所述的套管完全包覆隔离部，套管的两端分别套装于第一致动器和第二致动器的外部。

8.如权利要求5中任意一项所述的一种扫描致动器，其特征在于，所述的附加件为设置于隔离部外表面的加强筋和/或加强板。

9.如权利要求8所述的一种扫描致动器，其特征在于，所述的加强筋和/或加强板沿自第一致动部的自由端向第二致动部的固定端的方向延伸，所述的加强筋和/或加强板的两端分别固定连接第一致动部的自由端和第二致动部的固定端。

10.一种光纤扫描器，其特征在于，包括如权利要求1-9中任意一项所述的扫描致动器和光纤，光纤以悬臂支撑的方式与第二致动部的自由端固定连接，以光纤的出光端为前端，光纤的前部超出第二致动部的自由端形成光纤悬臂。