[发明专利]一种用于超高真空系统的玻璃管密封结构及密封方法

说明书

本发明公开了一种用于超高真空系统的玻璃管密封结构及密封方法，其使用一种玻璃管密封结构清理装置，所述玻璃管密封结构清理装置包括主体装置外壳，所述主体装置外壳左侧设置有清理头装置，所述主体装置外壳与所述清理头装置之间设置有一组相互交错的铰刀装置以及同时驱动清理头装置和铰刀装置运转的一组驱动装置，所述主体装置外壳上侧设置有辅助移动装置，本发明结构简单，操作方便，使用卷缠装置将清理装置主体部分吊入玻璃管后，利用卷缠制动装置使其定位，随后启动移动装置和辅助移动装置配合卷缠装置的收放使装置移动到工作的位置。

技术领域

本发明涉及玻璃管清理技术领域，具体为一种用于超高真空系统的玻璃管密封结构及密封方法。

背景技术

超真空系统是由真空泵、PLC程序控制系统、储气罐、真空玻璃管、真空阀门、境外过滤总成等组成的成套真空系统。目前，该系统广泛应用于电子半导体业、光电背光模组、机械加工等行业,超真空系统中的玻璃管经常有大量堵塞物，需要经常进行清洁才能使玻璃管局部良好的密封性能，但是，目前对超真空系统中的玻璃管清洁步骤不仅操作麻烦而且也只能清理一些易于清理的堵塞物，影响玻璃管的密封性能。

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于超高真空系统的玻璃管密封结构及密封方法，用于克服现有技术中的上述缺陷。

根据本发明的实施例的一种用于超高真空系统的玻璃管密封结构及密封方法，其使用一种玻璃管密封结构清理装置，所述玻璃管密封结构清理装置包括主体装置外壳，所述主体装置外壳左侧设置有清理头装置，所述主体装置外壳与所述清理头装置之间设置有一组相互交错的铰刀装置以及同时驱动清理头装置和铰刀装置运转的一组驱动装置，所述主体装置外壳上侧设置有辅助移动装置，该辅助移动装置通过一根一段连接弹簧的辅助移动弹出轴与所述主体装置外壳上侧的辅助移动弹出腔滑动配合，所述主体装置外壳下侧设置有移动装置，该移动装置与所述辅助移动装置完全形同，包括两根设置在两侧的，以及一组用于驱动该的驱动装置，所述移动装置通过一个设置在该移动装置背上的移动电机顶轴以及一个设置在所述主体装置外壳内的开合用螺纹轴相互配合来实现开合位移，所述主体装置外壳右侧还设置有一个辅助驱动装置，该装置通过一根卷缠绳与所述主体装置外壳连接，该装置内设置有一组卷缠所述卷缠绳的卷缠装置以及一组制动该装置的卷缠制动装置。

进一步的技术方案，所述铰刀装置包括固设在所述主体装置外壳内的大铰刀齿盘腔，所述大铰刀齿盘腔左侧内壁设有贯穿所述主体装置外壳左侧端面的环形的铰刀轴孔，所述大铰刀齿盘腔左侧端面固定安装大铰刀轴，所述大铰刀轴与所述铰刀轴孔转动配合，所述大铰刀轴左侧端面固定安装大铰刀底盘，所述大铰刀齿盘腔左右内壁之间滑动配合安装大铰刀齿盘，所述大铰刀齿盘中央设有贯穿所述大铰刀齿盘左右端面、所述大铰刀轴左右端面、所述大铰刀底盘左右端面的大铰刀齿盘孔，所述大铰刀底盘左侧端面固定安装一对上下对称的拱形的大铰刀，所述大铰刀与所述大铰刀底盘之间形成铰刀空腔，上下所述大铰刀相对的一侧端面固定安装一个环形的大铰刀前环，所述大铰刀前环内设有贯穿所述大铰刀前环左右端面的大铰刀前环孔，所述大铰刀齿盘腔右侧连通设有铰刀错转轮腔，所述铰刀错转轮腔上下内壁之间转动配合安装铰刀错转轮轴，所述铰刀错转轮轴外侧端面固定安装铰刀错转轮，所述铰刀错转轮与所述大铰刀齿盘啮合，所述铰刀错转轮腔右侧连通设有铰刀驱动腔，所述铰刀驱动腔左右内壁之间转动配合安装大铰刀驱动轴，所述大铰刀驱动轴外侧端面固定安装大铰刀驱动轮，所述大铰刀驱动轮与所述铰刀错转轮啮合，所述大铰刀齿盘孔内滑动配合安装小铰刀轴，所述小铰刀轴向右延伸进入所述铰刀驱动腔，所述小铰刀轴右侧端面固定安装小铰刀驱动轮，所述铰刀驱动腔右侧设有清理头驱动腔，所述铰刀驱动腔与所述清理头驱动腔之间的壳体内固定安装钻铰驱动电机，所述钻铰驱动电机右侧的输出轴右侧端面固定安装铰刀驱动轮，所述铰刀驱动轮与所述大铰刀驱动轮、所述小铰刀驱动轮啮合，所述小铰刀轴左侧向左延伸进入铰刀空腔，所述小铰刀轴左侧端面固定安装小铰刀底盘，所述小铰刀底盘左侧端面固定安装拱形的一对上下对称的小铰刀，上下所述小铰刀相对的一侧端面固定安装一个环形的小铰刀前环，所述小铰刀前环内设有贯穿所述小铰刀前环左右端面的小铰刀前环孔。