[发明专利]压电作动器

权利要求书

1.压电作动器，其特征在于：包括第一动台、第二动台、第一叠层压电陶瓷、第二叠层压电陶瓷、配重部、压块、第一弹性元件、第二弹性元件和第三弹性元件；所述第一动台能沿第一方向活动；所述第一叠层压电陶瓷输出运动方向为垂直于第一方向的第二方向，所述第一叠层压电陶瓷第一端与压块连接，第二端经第二弹性元件与配重部连接，配重部另一端连接第一弹性元件，在第一弹性元件作用下压块压在第一动台；所述第二动台活动方向沿第一方向，第二动台第一端通过第三弹性元件与第一动台连接，第二端与第二叠层压电陶瓷连接。

2.根据权利要求1所述的压电作动器，其特征在于：所述第一弹性元件、配重部、第二弹性元件、第一叠层压电陶瓷和压块沿第一方向布置。

3.根据权利要求1所述的压电作动器，其特征在于：所述第三弹性元件、第二动台和第二叠层压电陶瓷沿第二方向布置。

4.根据权利要求1所述的压电作动器，其特征在于：所述第一方向水平布置，第二方向竖直布置。

5.根据权利要求1所述的压电作动器，其特征在于：所述第二动台活动连接在第一动台。

6.根据权利要求1所述的压电作动器，其特征在于：所述压块沿第二方向运动。

7.根据权利要求6所述的压电作动器，其特征在于：还包括限位机构，所述压块连接限位机构，通过限位机构限制压块沿第二方向活动。

8.根据权利要求1所述的压电作动器，其特征在于：所述第一弹性元件连接在固定部上。

9.根据权利要求1所述的压电作动器，其特征在于：所述第二动台由水平导向机构支撑，所述第一动台整体由水平导向机构支撑。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的压电作动器，其特征在于：所述第一叠层压电陶瓷与第二叠层压电陶瓷分别连接频率相同并且相位差为90度的两相正弦波电压信号，通过正弦波电压信号驱动第一动台和第二动台运动。