[发明专利]放置对称图形的方法在审
| 申请号： | 201910485094.9 | 申请日： | 2019-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN110334402A | 公开（公告）日： | 2019-10-15 |
| 发明（设计）人： | 张兴洲;张燕荣 | 申请（专利权）人： | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 戴广志 |
| 地址： | 201203 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 线段 对称图形 区域映射 原始平面 划片槽 映射点 大小比较 对称放置 分段计算 几何平面 平面区域 不连续 映射 | ||
1.一种放置对称图形的方法，是在掩膜版设计中放置划片槽图形，其特征在于：包含：
步骤一，将划片槽图形的原始平面区域映射为一根线段；
步骤二，将原始平面区域内的各层已有图形，简化为各个点，将所述各个点映射到线段上形成映射点；
步骤三，计算各个映射点在线段上可能放置的位置，并作大小比较，取其中最小值；
步骤四，继续循环，并进入下一组图形放置过程。
2.如权利要求1所述的放置对称图形的方法，其特征在于：所述步骤一中，在直角坐标系中，将平面内的各层图形区域映射到坐标轴上，形成一根线段。
3.如权利要求1所述的放置对称图形的方法，其特征在于：所述的原始平面区域内的各层已有图形为对称图形。
4.如权利要求1所述的放置对称图形的方法，其特征在于：所述步骤二中，还包括计算平面区域图形的几何中心点的坐标，作为映射到所述线段上的参考原点。
5.如权利要求1或4所述的放置对称图形的方法，其特征在于：计算各个映射到线段上的图形参考点与参考原点之间的距离并进行绝对值的计算。
6.如权利要求5所述的放置对称图形的方法，其特征在于：将计算得出的绝对值进行比较，取其中最小绝对值的位置，以此最小值在线段上放置图形参考点。
7.如权利要求1所述的放置对称图形的方法，其特征在于：所述步骤四中，需要对称放置的图形参考点，每一对对称的图形参考点分为一组，按顺序逐对放置，以保持对称。
8.如权利要求1所述的放置对称图形的方法，其特征在于：需要将线段上映射的图形参考点转换为原始平面区域图形时，按照映射公式，将线段上的参考图形点的位置进行坐标变换的计算，将参考图形点的位置映射会原始平面区域的图形上。
9.如权利要求1所述的放置对称图形的方法，其特征在于：利用坐标映射变换，将不连续的区域合并为一个线段，在风车型划片槽放置图形时能保持对称，提高设计效率。
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