[发明专利]轨道清洁装置及高架式输送系统

说明书

本发明公开了一种轨道清洁装置及高架式输送系统；所述轨道清洁装置包括：主体，设置于轨道且能够沿所述轨道运行；以及吸尘单元和擦拭单元中的至少一种；其中，所述吸尘单元，设置于所述主体，用于吸除所述轨道表面的异物；所述擦拭单元，设置于所述主体，用于擦除所述轨道表面的异物。本发明能够运行在高架式输送系统的轨道上，并通过吸尘单元、擦拭单元对轨道进行吸尘、擦拭处理，实现自动且高效的轨道清洁，进而提升产品良率。

技术领域

本发明涉及半导体显示面板制造技术领域，特别是指一种轨道清洁装置及高架式输送系统。

背景技术

在半导体显示面板制造过程中，在各个制作工艺的工序之间，需要对掩模版、玻璃基板等物料进行长距离运输。具体的是在洁净室构造的无尘环境中，通过OHS(OverheadHoist Shuttle，高架式输送系统)实现对上述物料的运输；OHS包括轨道和在轨道上运行用于承载并运输物料的运输车。若轨道上存有异物则会导致小车的异常震动，极易造成被运送的物料的损坏，影响产品良率，所以对轨道的清洁是一项必要的工作。然而，现有的对于轨道的清洁还主要依赖于人工作业，但人工作业会带来诸多问题，如：影响生产效率、清洁度不佳、易造成二次污染、存在安全隐患等等。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的在于提出一种轨道清洁装置及高架式输送系统，能够自动、高效的完成轨道的清洁，进而提升产品良率。

基于上述目的，本发明提供了一种轨道清洁装置，包括：

主体，设置于轨道且能够沿所述轨道运行；以及

吸尘单元和擦拭单元中的至少一种；其中，

所述吸尘单元，设置于所述主体，用于吸除所述轨道表面的异物；

所述擦拭单元，设置于所述主体，用于擦除所述轨道表面的异物。

在一些实施方式中，所述吸尘单元包括：

毛刷，被定位为与所述轨道表面接合，用于扬起所述轨道表面的异物；

吸嘴，被定位为与所述毛刷相邻且靠近所述轨道表面；以及

风机，与所述吸嘴相连，被配置为与所述吸嘴配合形成负压以吸附并排出携带所述异物的气流。

在一些实施方式中，所述吸尘单元还包括：

过滤组件，连通设置于所述吸嘴与所述风机之间，用于过滤所述气流中的所述异物。

在一些实施方式中，所述过滤组件包括第一过滤器和第二过滤器中的至少一种；其中，

所述第一过滤器，具有第一腔体；所述第一腔体内设置有过滤网；

所述第二过滤器，具有第二腔体；所述第二腔体内设置有锥形的螺旋管；对应于所述螺旋管的锥面部位设置有隔板；所述隔板限定出所述螺旋管的内侧区域和外侧区域；所述螺旋管的管壁上设置有与所述内侧区域连通的气流出口，以及与所述外侧区域连通的异物出口。

在一些实施方式中，所述第一腔体包括：可拆卸连接且相互连通的第一过滤腔和第一集尘腔；其中，

所述第一过滤腔通过第一导流管与所述吸嘴相连；所述第一过滤腔还通过第二导流管与所述风机或所述第二过滤器相连；所述过滤网设置在所述第一过滤腔内。

在一些实施方式中，所述第二腔体包括：可拆卸连接且相互连通的第二过滤腔和第二集尘腔；其中，

所述螺旋管设置在所述第二过滤腔内；所述螺旋管的始端与所述吸嘴或所述第一过滤器相连，所述螺旋管的末端延伸至所述第二集尘腔内；

所述第二过滤腔还连接有第三导流管；所述第三导流管的始端延伸至所述内侧区域，所述第三导流管的末端连接所述风机。