[发明专利]保持器单元以及刻划方法

说明书

本发明涉及一种保持器单元以及刻划方法，其提高被刻划加工的被加工物的品质。保持器单元(100)具备保持器(110)、支承于保持器(110)的销(200)、以及支承于销(200)的刻划轮(120)。刻划轮(120)包括供销(200)插入的第二插入孔(121)。规定第二插入孔(121)的刻划轮(120)的轮内周面(122)由高耐磨损材料形成。第二插入孔(121)的中间部的直径比第二插入孔(121)的端部的直径小。销(200)包括销主体、以及保护销主体的外周面的保护层(220)。保护层(220)包括相对于轮内周面(122)的耐磨损性高的多个高耐磨损粒子。

技术领域

本发明涉及用于刻划加工的保持器单元以及刻划方法。

背景技术

在对脆性材料基板等被加工物形成刻划线时使用刻划装置。刻划装置具备保持器单元。保持器单元具备对被加工物进行刻划加工的刻划轮。在刻划加工中，在将刻划轮压靠于被加工物的表面的状态下，被加工物与刻划轮相对地移动，从而在被加工物形成刻划线。需要说明的是，作为以往的刻划装置的一例可举出专利文献1。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2017-119348号公报

发明所要解决的课题

在通过现有的刻划装置对被加工物进行刻划加工的情况下，有时随着刻划线的形成而在被加工物上产生的沿着被加工物的厚度方向的裂缝即垂直裂缝的形成状态的品质会降低。作为品质较低的情况的例子，可举出裂缝的深度在刻划线的各个部位不同的形成状态。对此，认为与刻划加工时的刻划轮的旋转不稳定有关。

发明内容

用于解决课题的方案

(1)本发明的保持器单元具备：保持器；支承于所述保持器的销；以及支承于所述销的刻划轮，所述刻划轮包括供所述销插入的插入孔，沿着所述插入孔的中心轴心的方向上的所述插入孔的中间部的直径比沿着所述插入孔的中心轴心的方向上的所述插入孔的端部的直径小，所述销包括销主体、以及保护所述销主体的外周面的保护层，所述保护层包括相对于所述刻划轮的内周面的耐磨损性高的多个高耐磨损粒子，所述刻划轮的内周面规定所述插入孔。

刻划加工时的刻划轮的旋转状态对随着刻划加工而形成于被加工物的裂缝的形成状态造成影响。作为用于提高被刻划加工的被加工物的品质的一个方法，可举出使刻划加工时的刻划轮的旋转稳定的方法。刻划轮的旋转稳定的状态是指，例如刻划轮的旋转阻力不变动的状态，或者旋转阻力的变动幅度微小的状态。在刻划轮的内周面与销的外周面的接触部分产生的阻力对刻划轮的旋转状态造成影响。认为该阻力越小则刻划轮的旋转状态越稳定，从而被刻划加工的被加工物的品质提高。

作为减小在上述接触部分产生的阻力的方法，例如，可举出使刻划轮的内周面(以下称为“轮内周面”)以及销的外周面(以下称为“销外周面”)各自的表面粗糙度减小的方法、使轮内周面与销的外周面的接触面积减小的方法。本申请发明人观察了按照该方法使用保持器单元(以下称为“标准保持器单元”)而被刻划加工的被加工物的品质。标准保持器单元的具体的结构如下所述。刻划轮以及销分别是金刚石烧结体。对轮内周面以及销外周面实施研磨加工，以使轮内周面的表面粗糙度以及销外周面的表面粗糙度变得足够小。对轮内周面实施镜面加工，以使表面粗糙度进一步变小，并且使轮内周面的形状形成成为插入孔的中间部的直径比插入孔的端部的直径小。