[发明专利]罩式退火炉废氢管道在线清洗技术应用

说明书

罩式退火炉废氢管道在线清洗技术应用，它涉及退火炉技术领域，具体涉及罩式退火炉废氢管道在线清洗技术应用。它包含退火炉、活口法兰、固定法兰、循环水箱、回水峰、出水峰、废氢管道主体、管道连接端，所述的退火炉的左右两端固定有活口法兰，退火炉通过活口法兰与废氢管道主体相连接，退火炉之间通过活口法兰、废氢管道主体相连接，废氢管道主体的一端与活口法兰的一端相连接，废氢管道主体的另一端与另一个退火炉两端的活口法兰相连接。采用上述技术方案后，本发明有益效果为：它一次清洗12个退火炉，用时12小时，清洗效果95％以上，时间短、成本低，设置有循环水箱，容易清洗，内部涂有耐腐蚀涂料，不易腐蚀，使用周期长。

技术领域

本发明涉及退火炉技术领域，具体涉及罩式退火炉废氢管道在线清洗技术应用。

背景技术

冷轧带钢退火工艺制度主要根据钢的化学成分、产品的技术标准、带钢的尺寸和卷重等因素确定。工艺制度必须保证生产中卷层间不粘结，表面不出现氧化。退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电60％。一般冷扎厂拥有罩式退火炉48-96台，冷轧厂的罩式退火炉采用氢气加热给钢卷退火消除应力，由于钢卷表面的轧制油受热蒸发，在废氢排放系统冷凝成积碳，久而久之堵塞排放系统。影响退火炉的燃烧及退火效果，直至影响产品质量，原清洗方法：单台炉拆卸更换排放系统，复杂周期长，成本高，单台炉清洗，效果差、效率低。

发明内容

本发明的目的在于针对现有技术的缺陷和不足，提供一种罩式退火炉废氢管道在线清洗技术应用，它一次清洗12个退火炉，用时12小时，清洗效果95％以上，时间短、成本低，设置有循环水箱，容易清洗，内部涂有耐腐蚀涂料，不易腐蚀，使用周期长。

为实现上述目的，本发明采用以下技术方案是：它包含退火炉1、活口法兰2、固定法兰3、循环水箱4、回水峰5、出水峰6、废氢管道主体7、管道连接端8，所述的退火炉1的左右两端固定有活口法兰2，退火炉1通过活口法兰2与废氢管道主体7相连接，退火炉1之间通过活口法兰2、废氢管道主体7 相连接，废氢管道主体7的一端与活口法兰2的一端相连接，废氢管道主体7 的另一端与另一个退火炉1两端的活口法兰2相连接，退火炉1与循环水箱4之间设置有回水峰5，退火炉1之间设置有出水峰6，循环水箱4的左右两侧设置有固定法兰3，废氢管道主体7的两端设置有管道连接端8，废氢管道主体7 的内壁上涂抹有耐腐蚀涂料。

它的清洗方法为：先将退火炉1停止工作，然后启动循环水箱4，清水从循环水箱4流出，流向管道连接端8，然后从管道连接端8流向废氢管道主体7，从而对废氢管道主体7进行清洗，然后再流向退火炉1，从退火炉1流向出水峰 6，清水从循环水箱4流出后，按照流水线原理，流向多个退火炉1，十二个退火炉1连成一条流水线，然后以十二个退火炉1为一组，同时进行清洗，清洗后的污水通过回水峰5流回到循环水箱4内部的污水处理系统中，循环水箱4 不断流出清水，方便对退火炉1的清洗，污水也不断流回到循环水箱4中，清洗用时十二小时，它可以应用于任何类似的管道清洗技术中。

所述的退火炉1的数量大于一个。

所述的活口法兰2的数量不止一个。

所述的废氢管道主体7由多段管道与退火炉1连接而成。

所述的连接端8的数量大于一个。

本发明的工作原理：多个退火炉1通过废氢管道主体7相连接，形成一个退火炉1和废氢管道主体7的管道系统，能够同时对多个退火炉1进行工作以及清洗，能够提高工作效率以及多个退火炉1同时进行清洗，节约大量的时间，提高清洗效率。