[发明专利]一种可调节输出光束谱宽的外腔反馈光谱合束装置

权利要求书

1.一种可调节输出光束谱宽的外腔反馈光谱合束装置,其特征在于，包括：

可调节式缩束球面反射镜对(4)，用于将入射在其上的平行光束经过若干次光束宽度压缩操作后进行输出；

所述调节式缩束球面反射镜对(4)包括：可绕球心旋转的凹球面反射镜(405)和位置固定的凸球面反射镜(406)；

所述凹球面反射镜(405)用于将入射的平行光束反射汇聚至所述凸球面反射镜(406)；

所述凸球面反射镜(406)用于将所述凹球面反射镜(405)反射汇聚入射的光束反射准直形成平行光输出；

所述凹球面反射镜(405)和所述凸球面反射镜(406)的焦点重合，所述凹球面反射镜(405)的曲率半径R大于所述凸球面反射镜(406)曲率半径r，所述凹球面反射镜(405)和所述凸球面反射镜(406)的球心间隔为(R-r)/2。

2.根据权利要求1所述的可调节输出光束谱宽的外腔反馈光谱合束装置,其特征在于，所述可调节式缩束球面反射镜对(4)压缩后的输出光束依次经过变换透镜(5)和衍射光栅(6)到达输出耦合镜(7)；

所述输出耦合镜(7)于所述衍射光栅(6)的最大级次衍射方向且与衍射方向垂直放置；

所述凸球面反射镜(406)的准直光束的中心轴与变换透镜(5)的主轴重合。

3.根据权利要求2所述的可调节输出光束谱宽的外腔反馈光谱合束装置,其特征在于，包括半导体激光阵列光源(1)，所述半导体激光阵列光源(1)用于发出阵列光束并入射至凹球面反射镜(405)上；

所述半导体激光阵列光源(1)后腔面与输出耦合镜(7)形成激光谐振外腔。

4.根据权利要求3所述的可调节输出光束谱宽的外腔反馈光谱合束装置,其特征在于，在半导体激光阵列光源(1)与可调节式缩束球面反射镜对(4)之间设置有快轴准直镜(2)、慢轴准直镜(3)；

所述快轴准直镜(2)和所述慢轴准直镜(3)用于将半导体激光源(1)发出的阵列光束分别在快轴和慢轴方向上进行准直，然后将准直后的平行光束入射至所述凹球面反射镜(405)上。

5.根据权利要求1所述的可调节输出光束谱宽的外腔反馈光谱合束装置,其特征在于，当所述凹球面反射镜(405)和凸球面反射镜(406)对入射平行光束进行一次汇聚和一次准直后，光束宽度压缩r/R倍；当所述凹球面反射镜(405)和凸球面反射镜(406)对入射平行光束进行二次汇聚和二次准直后光束宽度压缩(r/R)²倍；继续同方向旋转凹球面反射镜，当所述凹球面反射镜(405)和凸球面反射镜(406)对入射平行光束进行n次汇聚和n次准直后，光束宽度压缩(r/R)ⁿ倍。

6.根据权利要求1所述的可调节输出光束谱宽的外腔反馈光谱合束装置,其特征在于，在所述凹球面反射镜(405)、凸球面反射镜(406)的非反射面设置有散热装置。

7.根据权利要求2所述的可调节输出光束谱宽的外腔反馈光谱合束装置,其特征在于，所述变换透镜(5)置于可调节高度的支架(9)上。

8.根据权利要求2所述的可调节输出光束谱宽的外腔反馈光谱合束装置,其特征在于，所述衍射光栅(6)的衍射效率大于80％。