[发明专利]一种在线监测激光损伤时刻的测试装置

权利要求书

1.一种在线监测激光损伤时刻的测试装置，其特征在于，包括：靶材固定系统(100)、激光损伤时刻监测系统(200)和损伤用激光器系统(300)；

所述靶材固定系统(100)包括靶材固定装置和控制靶材位置的三维调整机构，所述靶材固定装置用于固定所述靶材；

所述损伤用激光器系统(300)包括损伤激光聚焦系统(301)、激光扩束系统(302)、损伤用激光器(303)以及瞄准激光器(304)，所述瞄准激光器(304)和所述损伤用激光器(303)同轴，且所述瞄准激光器(304)发出的瞄准激光以及所述损伤用激光器(303)发出的损伤激光指示光依次经过所述激光扩束系统(302)和所述损伤激光聚焦系统(301)聚焦到所述靶材的同一点上；

所述激光损伤时刻监测系统(200)包括聚焦透镜一(201)、聚焦透镜二(202)、激光扩束镜(203)、指示光激光器(204)、双色反射镜(205)、窄带滤光片(206)、聚焦透镜三(207)、光电探测器(208)、前放及比较电路(209)、计时计算机(210)、显示器(211)和照明激光器(212)；所述指示光激光器(204)发出的指示光经所述激光扩束镜(203)调整到合适宽度后，再依次经过所述双色反射镜(205)、所述聚焦透镜二(202)和所述聚焦透镜一(201)聚焦到所述靶材的激光损伤区域，且与所述损伤用激光器(303)发出的损伤激光指示光重合；所述照明激光器(212)发出的照明激光与所述损伤用激光器(303)发出的损伤激光指示光重合；

从所述靶材到所述光电探测器(208)的光路轴线之间依次设置有所述聚焦透镜一(201)、所述聚焦透镜二(202)、所述双色反射镜(205)、所述窄带滤光片(206)和所述聚焦透镜三(207)；

所述损伤用激光器(303)的电源与所述计时计算机(210)连接，且所述光电探测器(208)、所述前放及比较电路(209)、所述计时计算机(210)和所述显示器(211)依次电连接。

2.根据权利要求1所述的一种在线监测激光损伤时刻的测试装置，其特征在于，所述指示光激光器(204)为发散角为mrad量级的连续可见光激光器，其发出的指示光经所述激光扩束镜(203)后为具有更小发射角的类平行光。

3.根据权利要求2所述的一种在线监测激光损伤时刻的测试装置，其特征在于，所述照明激光器(212)为可见光激光器，其波长与所述指示光激光器(204)的波长不同。

4.根据权利要求3所述的一种在线监测激光损伤时刻的测试装置，其特征在于，所述双色反射镜(205)与所述光路轴线成45°角，所述双色反射镜(205)的膜系对所述指示光激光器(204)发出的指示光全反射或大部分反射，且对所述照明激光器(212)的照明激光全透射。

5.根据权利要求3所述的一种在线监测激光损伤时刻的测试装置，其特征在于，所述窄带滤光片(206)的波段与所述照明激光器(212)的波长相匹配。

6.根据权利要求1所述的一种在线监测激光损伤时刻的测试装置，其特征在于，所述光电探测器(208)为响应速度为纳秒或者皮秒的PIN二极管或者APD光电二极管。

7.根据权利要求3所述的一种在线监测激光损伤时刻的测试装置，其特征在于，所述前放及比较电路(209)具有纳秒或者皮秒级高速响应特性，根据所述照明激光器(212)的照明激光散射光信号给出高电平信号或低电平信号。