[发明专利]一种基于声表面波的用于粒子分离的无鞘流微流控芯片

权利要求书

1.一种基于声表面波的用于粒子分离的无鞘流微流控芯片，包括微流控管道、插指换能器和铌酸锂衬底（6），所述微流控芯片分为输入区域、加速区域、聚焦区域、分选区域、输出区域，其特征在于：

所述输入区域设有导管入口（7），导管入口（7）圆孔的半径为700 μm，导管入口（7）接入样本输入管道（1）；加速区域设有六个半的半圆型突起阵列（8），半径为100 μm，半圆之间的最小间隔为50μm；聚焦区域在左侧边界处设置60°尖角，该聚焦区域设有定位点（9）；分选区域设有两个分布于微流控管道两侧的插指换能器（2）；输出区域设有废液通道（10）与收集通道（11），废液通道（10）与收集通道（11）的截面积比为3:1，夹角为60°，废液通道（10）与收集通道（11）末端分别设有废液出口（12）和收集出口（13），废液出口（12）和收集出口（13）分别用于接入废液导管（3）和收集导管（4）。

2.如权利要求1所述的基于声表面驻波的用于粒子分离的无鞘流微流控芯片，其特征在于：所述微流控管道形成于PDMS结构 （5）上，PDMS结构（5）与和铌酸锂衬底（6）键合。

3.如权利要求2所述的基于声表面波的用于粒子分离的无鞘流微流控芯片，其特征在于：所述插指换能器（2）通过光刻工艺和铝离子注入直接形成在铌酸锂衬底上，所述铌酸锂衬底的材料为128°Y切铌酸锂。

4.如权利要求1所述的基于声表面波的用于粒子分离的无鞘流微流控芯片，其特征在于：每个插指换能器（2）有25对插指和6个反射条，插指之间的间隔为40 μm，波长为160 μm，与微流管道成10°的夹角。

5.如权利要求4所述的基于声表面波的用于粒子分离的无鞘流微流控芯片，其特征在于：通过在两侧的IDTs上施加相同的射频功率信号，在IDTs之间的衬底上形成驻波，进而在粒子上形成声波辐射力，粒子在声波辐射力下从聚焦流线偏向收集出口，实现粒子分选。