[发明专利]振动整流误差校正电路及其校正值调整方法

权利要求书

1.一种振动整流误差校正电路，其特征在于，

包括第一校正电路，所述第一校正电路基于从能够检测物理量的传感器元件输出的被测量信号获得数字值，并通过基于将所述数字值偏置而得的值的乘积的校正函数来校正所述数字值的振动整流误差。

2.根据权利要求1所述的振动整流误差校正电路，其特征在于，

所述校正函数是二次函数，

所述二次函数的二次系数是1。

3.根据权利要求1或2所述的振动整流误差校正电路，其特征在于，

所述振动整流误差校正电路包括：

频率Δ-Σ调制电路；以及

第二校正电路，所述第二校正电路包括第一滤波电路和第二滤波电路，并基于所述第一滤波电路的滤波特性和所述第二滤波电路的滤波特性来校正所述振动整流误差，

所述频率Δ-Σ调制电路生成使用基于所述被测量信号的动作信号对基准信号进行频率Δ-Σ调制而得的频率Δ-Σ调制信号，

所述第一滤波电路设置于所述频率Δ-Σ调制电路的输出侧，并与所述动作信号同步地进行动作，

所述第二滤波电路设置于所述第一滤波电路的输出侧，并与所述基准信号同步地进行动作，

所述第二滤波电路的输出信号被输入到所述第一校正电路。

4.一种物理量传感器模块，其特征在于，包括：

权利要求1至3中任一项所述的振动整流误差校正电路；以及

所述传感器元件。

5.根据权利要求4所述的物理量传感器模块，其特征在于，

所述传感器元件检测质量、加速度、角速度、角加速度、静电电容以及温度中至少任一方作为物理量。

6.一种结构物监视装置，其特征在于，包括：

权利要求4或5所述的物理量传感器模块；

接收部，接收来自安装于结构物的所述物理量传感器模块的检测信号；以及

计算部，基于从所述接收部输出的信号，计算所述结构物的倾斜角度。

7.一种振动整流误差校正电路的校正值调整方法，其特征在于，

所述振动整流误差校正电路包括：

第一校正电路，基于从能够检测物理量的传感器元件输出的被测量信号获得数字值，并通过基于将所述数字值偏置而得的值的乘积的校正函数来校正所述数字值的振动整流误差；

频率Δ-Σ调制电路，使用基于所述被测量信号的动作信号，对基准信号进行频率Δ-Σ调制，生成频率Δ-Σ调制信号；以及

第二校正电路，所述第二校正电路包括第一滤波电路和第二滤波电路，并基于所述第一滤波电路的滤波特性和所述第二滤波电路的滤波特性来校正所述振动整流误差，所述第一滤波电路设置于所述频率Δ-Σ调制电路的输出侧，并与所述动作信号同步地进行动作，所述第二滤波电路设置于所述第一滤波电路的输出侧，与所述基准信号同步地进行动作，并向所述第一校正电路输出信号，

所述校正值调整方法包括：

第一调整工序，调整所述第一校正电路的所述校正函数的校正值；以及

第二调整工序，调整所述第二校正电路的所述第一滤波电路和所述第二滤波电路的滤波特性，

所述第一调整工序在所述第二调整工序之前进行。