[发明专利]一种光罩损伤修复方法在审
| 申请号： | 201910345250.1 | 申请日： | 2019-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN110161800A | 公开（公告）日： | 2019-08-23 |
| 发明（设计）人： | 李思拥;朱雁;曾一鑫 | 申请（专利权）人： | 信利光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F1/72 | 分类号： | G03F1/72 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 李健威;陈卫 |
| 地址： | 516600 广东省汕*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 损伤修复 光罩 外围区域 研磨液 刻蚀 涂抹 损伤 研磨工具 柔质 摩擦 清洗 修复 | ||
1.一种光罩损伤修复方法，用于对光罩上的外围区域进行损伤修复，其特征在于，包括：
在所述外围区域的损伤面上涂抹刻蚀研磨液；
采用柔质研磨工具在涂抹了所述刻蚀研磨液的损伤面上进行摩擦；
对所述光罩进行清洗，以形成修复后的光罩。
2.根据权利要求1所述的光罩损伤修复方法，其特征在于，所述刻蚀研磨液包括刻蚀材料、研磨材料和溶剂，其中所述刻蚀材料和研磨材料之间的质量比在1.5:1-1:1.5之间。
3.根据权利要求2所述的光罩损伤修复方法，其特征在于，所述刻蚀材料为刻蚀膏。
4.根据权利要求2所述的光罩损伤修复方法，其特征在于，所述研磨材料由研磨颗粒、分散剂和辅助材料混合而成，所述研磨颗粒的粒度在W5-W0.5之间。
5.根据权利要求2所述的光罩损伤修复方法，其特征在于，所述溶剂为水性溶剂或油性溶剂。
6.根据权利要求2或5所述的光罩损伤修复方法，其特征在于，所述溶剂为离子水。
7.根据权利要求1所述的光罩损伤修复方法，其特征在于，所述柔质研磨工具包括一柔质研磨棒，所述研磨棒包括棒体和设于所述棒体一端上的柔质研磨头。
8.根据权利要求7所述的光罩损伤修复方法，其特征在于，所述棒体为亚力克棒，和/或，所述柔质研磨头为无尘布头。
9.根据权利要求1所述的光罩损伤修复方法，其特征在于，在对所述光罩进行清洗之后，还包括：
采用强光从所述外围区域的损伤面照射所述外围区域；
从所述外围区域的另一面观察所述外围区域，判断所述外围区域是否还存在肉眼可见的损伤，若存在，则重新修复，若不存在，则完成修复。
10.根据权利要求1或9所述的光罩损伤修复方法，其特征在于，在形成修复后的光罩之后，还包括：
对所述外围区域透光测试，以检测所述外围区域是否存在遮光情况。
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