[发明专利]保持器单元及销

说明书

提供能够使被刻划加工的被加工物的品质提高的保持器单元及销。保持器单元具备：保持器，其具有第一插入孔(114)；刻划轮，其具有第二插入孔(121)；以及销(130)，其被插入第一插入孔(114)及第二插入孔(121)，且至少相对于第二插入孔(121)以非压入的状态被插入。销(130)包含限制结构(130A)，该限制结构(130A)限制刻划轮的扫描方向DD上的销(130)相对于刻划轮的移动。

技术领域

本发明涉及用于刻划加工的保持器单元及销。

背景技术

在对脆性材料基板等被加工物形成刻划线时使用刻划装置。刻划装置具备保持器单元。保持器单元具备对被加工物进行刻划加工的刻划轮。在刻划加工中，在将刻划轮压靠于被加工物的表面的状态下，被加工物与刻划轮相对地移动，从而在被加工物形成刻划线。需要说明的是，作为以往的刻划装置的一例可举出专利文献1。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：曰本特开2017-119348号公报

发明要解决的课题

在使用以往的刻划装置来对被加工物进行刻划加工的情况下，有时被加工物的品质产生偏差。例如，有时垂直裂纹的形成状态在形成于被加工物的刻划线的各个部位不同。在优选的裂纹的形成状态中，在刻划线的整体，垂直裂纹中的1次裂纹的深度及2次裂纹的深度一定。在品质低的被加工物中，例如1次裂纹的深度在刻划线的各个部位不同，包含1次裂纹比其他的部分浅的部分或深的部分。裂纹的形成状态例如影响被加工物的断开的状态。从提高断开后的被加工物的品质这一点考虑，也优选被刻划加工的被加工物的品质高的情况。

发明内容

用于解决课题的方案

本发明所涉及的保持器单元具备：保持器，其具有第一插入孔；刻划轮，其具有第二插入孔；以及销，其被插入所述第一插入孔及所述第二插入孔，且至少相对于所述第二插入孔以非压入的状态被插入，所述销包含限制结构，该限制结构限制所述刻划轮的扫描方向上的所述销相对于所述刻划轮的移动。

为了检查被刻划加工了的被加工物的品质的偏差的原因，本申请发明人对在刻划加工时的销的状态进行了观察。在该观察中，如图14所示，使用了以往的保持器单元300，该保持器单元300具备具有圆形的第一插入孔311的保持器310、具有圆形的第二插入孔321的刻划轮320、以及圆柱型的销330。销330相对于保持器310及刻划轮320的各自以非压入的状态被插入第一插入孔311及第二插入孔321。图14所示的保持器310、刻划轮320及销330的关系是与第一插入孔311的中心轴心301正交的基准剖面中的通常的刻划加工时的关系。

观察的结果确认了：在以往的保持器单元300中，在通常的刻划加工时，第一插入孔311及销330具有至少以下三种关系。在第一种关系中，第一插入孔311的内周面312与销330的外周面331的接触点302相对于第一插入孔311的中心轴心301而位于刻划轮320的扫描方向D1的后方、且位于高度方向D2的上方。高度方向D2在基准剖面中与扫描方向D1正交。在第二种关系中，相对于第一插入孔311的中心轴心301而位于扫描方向D1的前方的第一插入孔311的内周面312与销330的外周面331之间形成有微小的间隙(以下称作“前方间隙303”)。在第三种关系中，在高度方向D2上的第一插入孔311的内周面312的顶点313与销330的外周面331之间形成有微小的间隙(以下称作“上方间隙304”)。需要说明的是，在此，为了对基准剖面中的关系进行表述，用接触点描述内周面312与外周面331的关系，但是实际的内周面312与外周面331的关系是实质上的线接触或接触面积微小的面接触。