[发明专利]超声波检查装置以及超声波检查方法

说明书

本发明提供一种超声波检查装置以及超声波检查方法，针对从被检查体的各个测定点得到的反射波提取从被检查体的特定界面产生的局部波峰，将提取出的局部波峰的极性与参照极性进行比较，将提取出的局部波峰的极性与参照极性不同的测定点检测为异常。

技术领域

本发明涉及一种超声波检查装置以及超声波检查方法。

背景技术

作为从被检查体的图像中检查缺陷的无损检查方法，具有使用向被检查体照射超声波来检测其反射波从而生成的超声波图像的方法。

通常，在通过超声波检测具有多层结构的被检查体内存在的缺陷时，使用基于声阻抗差异的反射特性。超声波在液体、固体物质中传播，在声阻抗不同的物质的边界面、空隙处产生反射波(回波)。

在此，来自剥离等缺陷的反射波的强度高于来自不存在缺陷的地方的反射波。因此，通过对被检查体的各层的边界面的反射强度进行成像，能够得到使被检查体内存在的剥离缺陷显现的图像。

但是，近年来，在以电子部件为代表的被检查体中，布线图案的微细化不断进展，要检测的剥离也变得微小，难以仅通过反射强度来确定有无存在剥离。

超声波在从声阻抗小的物质入射到声阻抗大的物质的情况下，存在来自剥离缺陷的反射波相对于来自不存在剥离的部位的反射波相位反转的性质。通过进行捕捉该相位反转来检测反射强度低的剥离缺陷的处理，能够实现微小剥离、孔隙的高灵敏度的检测。

作为检测这样的剥离等的方法，例如存在专利文献1。在专利文献1中，将反射波的上升波峰的极性与发送波的上升波峰的极性进行比较，如果极性不同则判定为剥离。

在专利文献1的方法中，针对从各测定点得到的每个反射波，将来自期望的界面的反射波的上升波峰极性与发送波的上升波峰极性进行比较，因此不需要测定点之间的波峰的对应。

但是，当由于被检查体内的结构物的薄型化而使得来自各界面的反射波(波峰)的产生时间接近时，难以确定来自期望的界面的反射波。结果，难以高灵敏度地检测微小的剥离等。

专利文献1：日本特开2012-154877号公报

发明内容

本发明的目的在于，即使在被检查体内的结构物薄型化的情况下，也能够高灵敏度地检测微小剥离等。

本发明的一个方式的超声波检查装置具有处理部，该处理部通过超声波探头对被检查体的表面进行扫描来从上述超声波探头向被检查体出射超声波，接收从上述被检查体返回的反射波，根据接收到的上述反射波的特征来检查上述被检查体的内部状态，上述处理部针对从上述被检查体的各测定点得到的上述反射波，提取从上述被检查体内的特定界面产生的局部波峰，将提取出的上述局部波峰的极性与参照极性进行比较，将提取出的上述局部波峰的极性与上述参照极性不同的测定点检测为异常。

在本发明的一个方式的超声波检查装置中，通过超声波探头对被检查体的表面进行扫描来从上述超声波探头向被检查体出射超声波，接收从上述被检查体返回的反射波，根据接收到的上述反射波的特征来检查上述被检查体的内部状态，超声波检查装置具有：在一个测定点的上述反射波内设定从上述被检查体的期望的界面产生的局部波峰的单元；设定向上述被检查体出射的上述超声波的一个波长以下的时间长度的闸门的单元；设定从上述被检查体的期望的异质界面产生的上述局部波峰的极性的单元；使用所设定的上述时间长度的上述闸门从各个其它的上述反射波依次搜索并确定与所设定的上述局部波峰相同的从上述异质界面产生的上述局部波峰的单元；根据所确定的上述局部波峰的反射强度，生成上述异质界面的截面图像并进行显示的单元；以及如果搜索并确定的从各测定点得到的上述反射波的上述局部波峰的极性与所设定的上述局部波峰的极性不同则判定为异常，在所生成的上述截面图像上显示被判定为异常的测定部位来进行输出。