[发明专利]一种高性能微型压电泵

权利要求书

1.一种高性能微型压电泵，其特征在于：包括：

压电振子(1)，所述压电振子(1)包括振动基板(50)和设于振动基板(50)上的一个或多个压电元件(80)，所述振动基板(50)包括中心部(51)和设置在中心部(51)外周的框部(53)，所述中心部(51)和框部(53)之间通过弹性支撑(52)连接；

挠性板(60)，所述挠性板(60)设于压电振子(1)一侧，所述挠性板(60)靠近振动基板(50)的一侧设有流道(61)，所述挠性板(60)与所述中心部(51)相对的区域内至少设有一个贯穿挠性板(60)的通气孔(62)；

通过对所述压电元件(80)施加驱动电压，振动基板(50)发生弯曲变形，使挠性板(60)产生谐振并随着振动基板(50)朝着相反方向弯曲变形，从所述通气孔(62)吸入流体，从通气孔(62)的周向方向排出。

2.根据权利要求1所述的一种高性能微型压电泵，其特征在于：所述压电泵还包括盖板(10)、第一隔板(20)、电极板(30)和第二隔板(40)，所述盖板(10)、第一隔板(20)、电极板(30)、第二隔板(40)、压电振子(1)和挠性板(60)由上至下依次密封连接并构成泵腔(2)，所述盖板(10)上设有连通泵腔(2)的气孔(11)，所述第一隔板(20)、电极板(30)和第二隔板(40)上均设有通孔，所述电极板(30)上设有置于泵腔(2)外的外部电极(31)和置于泵腔(2)内的内部电极(32)，所述第一隔板(20)用于保证压电振子(1)弯曲变形过程中，内部电极(32)与压电振子(1)的焊点不会接触盖板(10)，所述第二隔板(40)为绝缘板，第二隔板(40)厚度大于驱动电压下的击穿厚度。

3.根据权利要求1所述的一种高性能微型压电泵，其特征在于：所述中心部(51)为呈圆板状，所述压电元件(80)与中心部(51)同轴设置。

4.根据权利要求1所述的一种高性能微型压电泵，其特征在于：所述弹性支撑(52)包括多个设置在中心部(51)和框部(53)之间的梁部，所述梁部宽度小于中心部(51)和框部(53)之间的间隙，且梁部的形状与中心部(51)和框部(53)之间的间隙形状相匹配，所述梁部两端通过连接部分别与中心部(51)和框部(53)连接。

5.根据权利要求1所述的一种高性能微型压电泵，其特征在于：所述框部(53)上还设有电极(54)。

6.根据权利要求1所述的一种高性能微型压电泵，其特征在于：所述流道(61)深度小于挠性板(60)的厚度，所述流道(61)延伸至挠性板(60)对应中心部(51)的区域之外。

7.根据权利要求1所述的一种高性能微型压电泵，其特征在于：所述流道(61)与通气孔(62)之间设有隔断层，流道(61)壁面相交处采用圆角过度，流道(61)壁面粗糙度不高于Ra0.8。

8.根据权利要求1所述的一种高性能微型压电泵，其特征在于：所述通气孔(62)与中心部(51)同轴设置。

9.根据权利要求1所述的一种高性能微型压电泵，其特征在于：所述挠性板(60)远离振动基板(50)的一侧还设有底板(70)，所述底板(70)上贯穿设有开孔(71)，使所述通气孔(63)能够在开孔(71)中露出。

10.根据权利要求1-9任意一项所述的一种高性能微型压电泵，其特征在于：所述压电元件(80)设置在中心部(51)的一侧，所述中心部(51)远离压电元件(80)的一侧内部设有密封腔体(3)。