[发明专利]一种多功能复合式真空阀门及使用该真空阀门的真空设备

说明书

本发明涉及一种多功能复合式真空阀门及使用该真空阀门的真空设备，真空阀门包括中空主体，主体的一端连接有密封法兰，主体上设有低真空抽气口、高真空抽气口、真空传动器连接口和充气口，低真空抽气口处设有第一开关，充气口处设有第二开关，高真空抽气口处设有能够启闭高真空抽气口的高真空密封结构。使用时该阀门通过密封法兰与真空管密封连接，真空管上设有低真空抽气口、高真空抽气口、真空传动器连接口和充气口，可以实现低真空环境以及高真空环境，同时还可以通过连接的真空传动器实现在真空环境中对真空管中的工件产品进行操作，功能强大且通用性强，同时大大降低了现有技术中使用管道等组合使用的占地面积，且成本是现有组合成本的1/15‑1/10。

技术领域

本发明涉及真空设备领域,具体涉及一种多功能复合式真空阀门及使用该真空阀门的真空设备。

背景技术

在一些特殊的产品在制作过程中或者实验过程中需要在真空环境下进行，例如在真空环境下保存、真空环境下传动、真空环境下热处理、真空环境下烧结、真空环境下冷却等等。这些过程一般都是在真空石英管等真空管中进行的，当真空管中需要抽真空时，将抽真空阀门与真空管密封连接进行抽真空操作，当需要其他操作时同样需要将其他阀门与真空管密封连接，只能实现单一的功能，无法实现一些需要两个功能以上的操作。如果要实现两种以上功能的操作，需要将两个以上的不同阀门通过真空管道进行连接组合，占地面积大且成本较高。

发明内容

本发明的目的是提供一种多功能复合式真空阀门，以解决现有技术中阀门功能单一、组合使用占地面积大、成本高的问题；同时本发明的目的还在于提供一种使用上述真空阀门的真空设备。

为实现上述目的，本发明的一种多功能复合式真空阀门采用如下技术方案：一种多功能复合式真空阀门，包括中空主体，主体的一端连接有用于与真空管密封安装的密封法兰，主体上设置有和主体的空腔连通的低真空抽气口、高真空抽气口、真空传动器连接口和充气口，低真空抽气口处设置有第一开关，充气口处设置有第二开关，高真空抽气口处设置有能够启闭高真空抽气口的高真空密封结构；真空传动器包括连接于真空传动器连接口的真空波纹管，真空波纹管的一端连接有连接法兰，真空传动器连接口也为法兰结构，真空波纹管通过连接法兰与真空传动器连接口密封连接，真空波纹管中穿装有传动杆，连接法兰上设置有供传动杆导向移动安装的导向孔，真空波纹管的另一端与传动杆密封连接且能够随传动杆的导向运动而同时沿其轴向运动；传动杆具有伸入上述真空阀门的传动部分和位于真空阀门外部的操动部分。

所述主体为T形结构，主体包括第一筒体和第二筒体，第二筒体的一端连接于第一筒体上，密封法兰设置于第二筒体的另一端上，第一筒体的一端形成所述高真空抽气口，第一筒体的另一端设有密封堵头，高真空密封结构包括沿第一筒体的轴线方向导向移动且密封安装于密封堵头上的传动轴，传动轴朝向高真空抽气口的端部连接有密封板，传动轴的另一端伸出第一筒体并传动连接有驱动缸。

所述密封板通过连接轴连接于传动轴上，连接轴与传动轴之间设置有轴—孔螺纹连接结构。

所述主体上还设置有冷却装置，冷却装置包括设置于主体上的冷却水进水口和冷却水出水口以及连接冷却水进水口与冷却水出水口的向外伸出密封法兰的冷却水管，冷却水管上设置有使用时位于真空管中的冷却盘，冷却盘具有与冷却水管连通的环形水道，冷却盘具有供真空传动器的传动轴穿过的冷却盘穿孔。

所述冷却水管包括平行设置的进水管和出水管，进水管和出水管之间设置有固定支撑板，固定支撑板上设置有与冷却盘穿孔对应的供供真空传动器的传动轴穿过的通孔。