[发明专利]一种对位标识、显示基板母板及对位方法在审
申请号: | 201910178193.2 | 申请日: | 2019-03-08 |
公开(公告)号: | CN111665690A | 公开(公告)日: | 2020-09-15 |
发明(设计)人: | 冯京;栾兴龙;刘鹏;王志冲;李付强;袁广才;董学 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
主分类号: | G03F9/00 | 分类号: | G03F9/00 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 郭润湘 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 对位 标识 显示 母板 方法 | ||
本发明公开了一种对位标识、显示基板母板及对位方法,通过将对位标识中相交于同一交点的标记部中的至少两条标记部进行分割,以使该标记部具有间隔排列的多个子标记部。这样可以使具有交点的标记部的边界增多,提高对位标识的识别能力。这样在对对位标识进行识别时,可以使识别得到的图像中的相交于同一交点的标记部的对比度和清晰度提高,以使获取到交点位置的准确性提高,进而提高对位精度。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,特别涉及一种对位标识、显示基板母板及对位方法。
背景技术
在平板显示器的制造过程中,通常会应用曝光、显影等工艺。其中,曝光机通过对基板上的对位标识进行识别,以控制基板进行对位,从而对基板的预定位置执行曝光。然而,当对位标识被较多膜层覆盖时,可能会导致曝光机识别出的对位标识不清楚,甚至识别不到对位标识,从而会影响基板的对位精准度,进而影响基板上预定位置的曝光效果。
发明内容
本发明实施例提供一种对位标识、显示基板母板及对位方法,用以提高对位标识的识别能力。
本发明实施例提供的对位标识,包括:条状设置的多条标记部;其中,至少两条所述标记部相交于同一交点;
所述相交于同一交点的标记部中的至少两条具有间隔排列的多个子标记部。
可选地,在本发明实施例中,覆盖所述交点的子标记部为第一子标记部,除所述交点处的子标记部之外的其余子标记部为第二子标记部,同一所述标记部中,所述第一子标记部的图形与所述第二子标记部的图形不同。
可选地,在本发明实施例中,同一所述标记部中,各所述第二子标记部沿所述标记部的延伸方向排列,且各所述第二子标记部的延伸方向与所述标记部的延伸方向具有大于0°且小于或等于90°的夹角。
可选地,在本发明实施例中,同一所述标记部中,各所述第二子标记部沿垂直于所述标记部的延伸方向排列,且各所述第二子标记部的延伸方向与所述标记部的延伸方向相同。
可选地,在本发明实施例中,所述标记部中覆盖同一交点的第一子标记部共用同一个子标记部。
可选地,在本发明实施例中,所述第一子标记部的尺寸大于所述第二子标记部的尺寸。
可选地,在本发明实施例中,各所述第二子标记部的图形相同。
可选地,在本发明实施例中,部分所述标记部相交于同一交点,其余所述标记部均匀分布于相邻的两个具有同一交点的标记部之间的间隙中。
可选地,在本发明实施例中,各所述标记部相交于同一交点。
可选地,在本发明实施例中,所述相交于同一交点的标记部中任意相邻的两条标记部之间的夹角相同。
可选地,在本发明实施例中,各所述标记部分别具有间隔排列的多个子标记部。
可选地,在本发明实施例中,各所述标记部由所述交点所在中心向四周呈放射状延伸。
相应地,本发明实施例还提供了一种显示基板母板,包括:非显示区和多个显示区;所述非显示区包括至少四个对位标识;其中,所述对位标识为上述对位标识。
可选地,在本发明实施例中,所述对位标识分别位于所述衬底基板的边角。
相应地,本发明实施例还提供了一种显示基板母板的对位方法,包括:
在所述显示基板母板的非显示区中形成至少四个对位标识;其中,所述对位标识为上述对位标识;
根据形成的所述对位标识,控制所述显示基板母板与曝光机的曝光系统进行对位。
本发明有益效果如下:
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